电磁屏蔽材料、溅射镀膜装置及电磁屏蔽材料的制作方法

摘要

本发明公开一种电磁屏蔽材料、溅射镀膜装置及电磁屏蔽材料的制作方法，其中，所述电磁屏蔽材料包括：基材，所述基材具有面向外部的镀膜面；金属镀膜层，所述金属镀膜层覆盖于所述镀膜面；氧化保护体，所述氧化保护体数量为多个，多个所述氧化保护体分散的排布于所述金属镀膜层远离所述镀膜面的表面以形成氧化保护网，且所述氧化保护网的金属性强于所述金属镀膜层的金属性，以防止所述金属镀膜层被氧化。本发明技术方案使得氧化保护网给金属镀膜层提供了保护，避免了金属镀膜层被氧化，保证了金属镀膜层的稳定性，从整体上提高了电磁屏蔽材料的屏蔽效果。