一种TiAlMeN-TiAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途

摘要

本发明涉及—种TiAlMeN‑TiAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途，所述涂层为依次沉积的周期性涂层单元，所述周期性涂层单元包括TiAlMeN层、TiAlN层和两层过渡层，其中一层过渡层设置在所述TiAlMeN层和TiAlN层之间；所述TiAlMeN层中Me包括Zr、Hf、V、Ta、Nb、Cr、W、Mn、Mo或Si中的任意一种或至少两种组合；所述过渡层的化学式为Tix2Aly2Me(1‑x2‑y2)N，其中0.3≤x2≤0.5，0.45≤y2≤0.7，0.01≤1‑x2‑y2≤0.1。所述纳米多层结构涂层具有优异的超硬性、强韧性、结合强度高、抗开裂、耐腐蚀和耐氧化等性能。