石墨烯应变传感器及石墨烯应变传感器的制备方法

摘要

本申请公开了石墨烯应变传感器及石墨烯应变传感器的制备方法，该石墨烯应变传感器中的导电层包括由两个或者两个以上多层石墨烯单元形成的堆叠结构。该石墨烯应变传感器中的多层石墨烯单元通过常压化学气相沉积法制备，并利用蚀刻液除去多层石墨烯单元的生长衬底，得到自支撑多层石墨烯单元；将自支撑多层石墨烯单元转移至另一搭载有多层石墨烯单元的生长衬底，如此循环，可以得到两个或两个以上多层石墨烯单元形成的堆叠结构，作为石墨烯应变传感器的导电层。本申请提供的石墨烯应变传感器既具有较宽的检测范围，又具有较高的灵敏度。