一种绝对式六自由度光栅编码器

摘要

本发明公开了一种绝对式六自由度光栅编码器，包括由光源模块产生的准直光束，经PBS产生光束L1和L2，所述光束L2首先通过复合光栅分光模块分光为光束L2‑1、L2‑2和L2‑3，光束L2‑1利用复合光栅的二维光栅区域产生衍射光，所述衍射光经绝对式四自由度测量模块测量出复合光栅的θx,θy,θz及z方向绝对位姿，所述L2‑2和L2‑3两光束分别通过X和Y向掩膜版进入参考码道，所述掩膜版与参考码道拥有同样的编码，在码道对齐时会产生负向脉冲，以此标记零位。光束L2‑1衍射产生的光束，与光束L1在二维参考光栅产生的光束产生干涉现象，并由绝对式二自由度测量模块接收，解析x和y方向的相位变化进而得到位移增量信息，耦合负向脉冲的标记得到其绝对位姿。