一种配气系统及配气方法

摘要

本发明涉及一种配气系统及配气方法，配气系统包括配气组件、测试腔和真空泵，所述配气组件包括背景气瓶、混合腔和至少一个目标气瓶，所述目标气瓶通过对应的目标气路和所述混合腔连通，所述背景气瓶通过背景气路和所述混合腔连通，所述目标气路上设有第一阀门，所述背景气路上设有第二阀门，所述测试腔一端通过换气管路和所述混合腔连通，所述换气管路上设有第三阀门，所述测试腔另一端和所述真空泵连接，所述真空泵用于对所述混合腔抽真空，所述混合腔内设有第一气压计，所述第一气压计用于监测所述混合腔中的气体压强。通过采用分压控制可以提高混合气体各组分浓度的控制精度，提高气体稀释倍数，缩短配气时间，实现痕量多组分混合气体配制。