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公开/公告号CN114434256A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN202210088103.2
发明设计人 魏朝阳;万奎平;万嵩林;邵建达;李瀚捷;李尧;
申请日2022-01-25
分类号B24B13/00;B24B49/12;B24C1/08;B24C7/00;B24C9/00;
代理机构
代理人
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2023-06-19 15:13:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-06
公开
发明专利申请公布