首页> 中国专利> 一种模拟晶体的生长方法、晶体的生长方法及装置

一种模拟晶体的生长方法、晶体的生长方法及装置

摘要

本发明公开了一种模拟晶体的生长方法、晶体的生长方法及装置。该模拟晶体的生长方法包括:建立晶体生长计算流体力学模型,其中,所述晶体生长计算流体力学模型的虚拟晶体生长环境模拟实际晶体生长环境;虚拟晶体每生长第一预设时间,根据虚拟晶体中至少一个生长界面的当前形状,对当前时刻之前的长晶工艺参数进行调整;虚拟晶体每生长第一预设时间,将调整之后的长晶工艺参数作为所述虚拟晶体继续生长的长晶工艺参数。本发明实施例提供的技术方案实现了一种可以准确模拟晶体生长全程的情况,并且对于实际晶体生长的全过程的长晶工艺参数具有指导价值的模拟晶体的生长方法。

著录项

  • 公开/公告号CN114411236A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202210124257.2

  • 发明设计人 郭超;母凤文;

    申请日2022-02-10

  • 分类号C30B9/08;C30B29/36;C30B35/00;G06F30/28;G16C20/70;G16C60/00;G06F111/06;G06F113/08;G06F119/14;

  • 代理机构北京品源专利代理有限公司;

  • 代理人初春

  • 地址 100083 北京市海淀区花园北路25号小关(厂南区)4号楼1层146

  • 入库时间 2023-06-19 15:07:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 9/08 专利申请号:2022101242572 申请日:20220210

    实质审查的生效

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号