自动上下料机以及自动上下料加工系统

摘要

本发明涉及半导体制造设备领域，具体提供一种自动上下料机以及自动上下料加工系统。其中自动上下料机包括基座、料盒矫正机构、物料调整及推出机构、传送带机构、三轴取放机构、缓存机构、旋转取放机构以及工作台；所述物料调整及推出机构位于所述基座的一侧，所述料盒矫正机构设于所述物料调整及推出机构上，所述传送带机构邻近所述物料调整及推出机构设置，所述传送带机构、所述缓存机构、所述旋转取放机构以及所述工作台沿X轴依次排列设于所述基座上，所述三轴取放机构固定于所述基座上且邻近所述传送带机构和所述缓存机构设置。本发明的自动上下料机能实现自动化上料及下料且结构简单。