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公开/公告号CN114364998A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 胜科工业有限公司;新加坡国立大学;
申请/专利号CN202080064277.4
发明设计人 S·C·阿斯凯斯阿凡;S·K·潘达;S·珊卡兰阿拉严恩·穆萨拉吉;
申请日2020-08-04
分类号G01R31/34;G01R31/56;H02P29/024;
代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人金辰晖
地址 新加坡新加坡
入库时间 2023-06-19 14:56:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-15
公开
国际专利申请公布
机译:PC-KNN故障检测方法在半导体批次过程中的应用研究