一种内部集成压强检测的气体微泵及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于内部气压检测的气体微泵及其制备方法。该气体微泵，包括散热层、复合合金层、堵塞层、振动基层、振动层、下电极层、减振层、薄膜层、壳体层和压强检测层。振动层设置在下电极层朝向薄膜层的侧面；下电极层与薄膜层之间设置有空腔。开设在振动基层、下电极层、减振层上并相互连通的流通路形成泵腔；开设在壳体层上并相互连通的流通路形成输出流道。压强检测层设置在泵腔的内侧壁上；所述的压强检测层包括依次排列的非单晶硅基底、支承构件层、隔膜层和压阻层。支承构件层中开设有真空腔室。本发明通过微纳加工工艺获取了能够稳定泵气的气体微泵，且在泵腔内加工出压强检测层，从而实现了微泵气流输出的负反馈调节。