射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备

摘要

本申请涉及一种射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备；所述方法包括：获取射频中和器工作时的当前发射极电流值以及待调整的目标发射极电流值，并确定所需调整的电流变化量；获取射频中和器当前工作的第一射频功率值以及在调整到目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值，并确定所需调整的射频功率变化量；根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间，并计算射频功率调整的功率调整步长值；在调整射频中和器的发射极电流过程中，依据功率调整步长值将射频功率调整至第二射频功率值；该技术方案，实现了发射极电流和射频功率的同步匹配调整，保证了射频中和器输出稳定而不灭掉，提升了离子源使用的稳定性。