一种基于近场散斑的曲面波前与面形高精度检测方法

摘要

本发明涉及光学检测技术，尤指一种对大曲率X射线波前和大曲率X射线光学元件面形进行高精度检测的基于近场散斑的波前检测技术；所述的检测技术利用散斑在其“近场”区域不发生形变的特性来追踪光线轨迹，根据光线的偏折角度，即待测波前的一阶导数来恢复波前；光线落点的位移分为整像素位移和亚像素位移，其中整像素位移采用XST技术快速测量，亚像素位移采用XSS技术精确测量；本发明的角度灵敏度可达纳弧度水平，空间分辨力达到探测器像素尺寸水平，角度测量范围达到数十微弧度，在保持检测精度的前提下，大幅减少检测所需数据量和检测时长。