一种半导体特种气体输送管道的检漏装置

摘要

本发明公开了一种半导体特种气体输送管道的检漏装置，包括管外夹持机构、密封罩和气体检测机构，所述气体检测机构包括设置在所述管外夹持机构上的导流管和平衡管，以及通过螺纹连接在所述管外夹持机构上的气体检测瓶，所述导流管的一端延伸至所述管外夹持机构的内侧用于收集泄漏的特种气体，并且所述导流管的另一端能够延伸至所述平衡管的内侧用于排放收集的特种气体，所述气体检测瓶用于对所述导流管排出的泄漏气体实现可视化；装置通过夹持在气体管道外侧，并使用密封罩进行封闭，使得气体管道上待检漏的区域被封闭在装置内，在气体管道内的气体泄漏出时，泄漏的气体会被装置封闭在装置内，无法进一步泄漏至外界。