一种基于激光激励纵波测量亚表面缺陷深度的方法

摘要

本发明公开了一种基于激光激励纵波测量亚表面缺陷深度的方法。其步骤为：1)将脉冲激光器探头置于工件亚表面缺陷的一侧，与亚表面缺陷相距d1；2)将激光测振仪放置在工件亚表面缺陷的另一侧；3)利用激光测振仪接收模态转换表面波R1；4)将脉冲激光器探头向亚表面缺陷移动，使探头与亚表面缺陷距离为d2；5)利用激光测振仪接收模态转换表面波R2；6)通过模态转换波R1和R2的到达时间和距离d1与d2，计算纵波声速和亚表面缺陷的深度。本发明能够用于超精密加工在位检测和其他一些高温高压等特殊环境中的亚表面缺陷深度的检测。