一种微纳多孔节流静压气浮止推轴承

摘要

本发明公开了一种微纳多孔节流静压气浮止推轴承装置，其特征在于：气浮止推轴承下表面布置一个或者多个微纳多孔节流器。微纳多孔节流器为薄片结构，厚度为0.1‑1mm，直径为1‑100mm，薄片结构上开有微纳多孔，微纳多孔直径为微米级和纳米级尺度，微纳多孔数目在几十到几百万之间，不同直径大小的多孔可以根据设计自由组合（微米级多孔组合、纳米级多孔组合或者微米级和纳米级混合多孔组合），通过优化进行合理布局。本发明不仅可以显著提高气浮止推轴承的稳定性和力学特性，而且可以有效降低气浮止推轴承的自激振动；此外，按照本发明的微纳多孔节流静压气浮止推轴承具有高速度和高精度等优点，因此尤其适用于超精密半导体设备和微/纳机电系统等领域。