一种线性化二维平动正应力式电磁微动平台

摘要

本发明公开了一种线性化二维平动正应力式电磁微动平台，包括载物板、过渡板、基座、传感器组、多套导轨滑块组及多套正应力电磁致动器；多套所述导轨滑块组中具有X轴方向和Y轴方向的，所述基座与过渡板通过多套导轨滑块组连接，导轨滑块组的导向为X轴方向；所述过渡板与载物板通过多套导轨滑块组连接，导轨滑块组的导向为Y轴方向；所述载物板与正应力电磁致动器相连。本发明具有结构简单、出力密度大、响应速度超快、运动行程大、定位精度高等优点。