一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法，高寿命低变形率石英坩埚包括石英坩埚本体和设置在石英坩埚本体外侧表面的散热涂层；其中，石英坩埚本体是由硅溶胶和石英砂粉末制备而成；散热涂层是由硅溶胶和氮化铝/硅化镍复合微球复合而成。所述硅溶胶中二氧化硅的质量浓度为20％～30％，硅溶胶和石英砂粉末的质量比为1:0.2～0.4，氮化铝/硅化镍复合微球与硅溶胶的质量比为1:6～12。本发明制备的石英坩埚具有高寿命、低变形率、散热均匀、抗热抗震性高的优点。