光栅投影系统及光栅相移高度测量自动校正补偿方法

摘要

本发明公开了一种光栅投影系统及光栅相移高度测量自动校正补偿方法，包括光栅投影系统平台、被测的四点标定块、工业计算机、已完成基本标定的相机、光机，平台根据相机获取校正补偿参数过程中的测量点位信息，根据枝切法获取测量点位上四点标定块的相位差结果和高度测量结果，结合四点标定块的实际高度获取实测高度值与实际高度之间的映射关系获取高度校正补偿参数；将校正补偿参数按照1um高度精度拓展至整个高度可检测范围，获取本机台完整的光栅相移高度测量校正补偿参数；根据被测对象的位置和相位差结果按照LUT查表法获取对应的校正补偿参数，根据高度校正方程获取高度校正补偿结果。本发明大大减小了因机台间差异导致的高度结果差异。