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高深宽比纳米间隙多物理场耦合探测平台及探测方法

摘要

本申请提供了一种高深宽比纳米间隙多物理场耦合探测平台及其探测方法。本申请提出的高深宽比纳米间隙多物理场耦合探测平台包括第一导电件、第二导电件、以及微电极连线,其中,所述第一导电件和第二导电件之间具有深宽比介于1:1‑300:1,宽度为5‑100nm的纳米间隙,并且微电极连线分别连接所述第一导电件和所述第二导电件,用于向所述第一导电件和所述第二导电件之间的纳米间隙引入电信号。通过获得深宽比介于1:1‑300:1的纳米间隙和将多种物理信号引入所述纳米间隙中,高深宽比的纳米间隙大大提高了光的共振模式与电场有效范围,能够同时与光场、电场与磁场等多种物理场的至少两种发生相互作用。

著录项

  • 公开/公告号CN114235037A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院物理研究所;

    申请/专利号CN202111475636.8

  • 申请日2021-12-06

  • 分类号G01D21/02(20060101);H01L27/14(20060101);H01L21/02(20060101);B82Y40/00(20110101);

  • 代理机构11497 北京市正见永申律师事务所;

  • 代理人黄小临;冯玉清

  • 地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8号

  • 入库时间 2023-06-19 14:39:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-25

    公开

    发明专利申请公布

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