公开/公告号CN114235037A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN202111475636.8
申请日2021-12-06
分类号G01D21/02(20060101);H01L27/14(20060101);H01L21/02(20060101);B82Y40/00(20110101);
代理机构11497 北京市正见永申律师事务所;
代理人黄小临;冯玉清
地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2023-06-19 14:39:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-25
公开
发明专利申请公布