一种硅/聚合物杂化狭缝波导马赫-曾德尔电光调制器

摘要

一种硅/聚合物杂化狭缝波导马赫‑曾德尔电光调制器，包括衬底、二氧化硅层和马赫‑曾德尔结构的调制臂，调制臂的中部为狭缝波导结构并嵌入在二氧化硅层内，调制臂的两端分别连接输入端和输出端，输入端和输出端均采用多模干涉耦合器结构，调制臂在与输出端相连的部分采用不等臂结构，在狭缝波导结构的外侧分别设置有嵌入在二氧化硅层内的第一P+型掺杂硅体料区和第二P+型掺杂硅体料区，在狭缝波导结构的内侧设置有嵌入在二氧化硅层内的N+型掺杂硅体料区，在各掺杂硅体料区的上方分别设置共面电极，共面电极与各掺杂硅体料区通过钨通孔连接。本发明有效地降低调制器的半波电压，并有效地提高了聚合物与光场的相互作用，提高了调制效率。