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公开/公告号CN114216905A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN202111519480.9
发明设计人 陈阳;王新伟;王敏敏;孙亮;周燕;
申请日2021-12-13
分类号G01N21/84(20060101);G01N21/01(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王文思
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-19 14:36:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
公开
发明专利申请公布
机译: 清洗处理液供给装置的方法,涂层处理装置以及处理液供给装置的供给管
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