公开/公告号CN114217193A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司;
申请/专利号CN202010923207.1
申请日2020-09-04
分类号G01R31/26(20140101);
代理机构11619 北京辰权知识产权代理有限公司;
代理人刘广达
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 14:36:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
公开
发明专利申请公布