具有可控德尔塔频率温度系数的多层压电基板

摘要

一种电子装置包括：多层压电基板，该多层压电基板包括载体基板、被设置在载体基板的前侧上的压电材料层、以及被设置在载体基板的后侧上的背侧材料层，该背侧材料层具有不同于载体基板的热膨胀系数的热膨胀系数；以及被设置在多层压电基板的前侧上的一个或多个声波器件，该一个或多个声波器件在相应的谐振和反谐振频率处表现出与没有背侧材料层的基本相似的装置相比更小的频率温度系数差。