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公开/公告号CN114184317A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中山嘉明电力有限公司;
申请/专利号CN202111263290.5
发明设计人 乐增孟;陈志军;熊波;秦光明;薛志敏;陈超明;梁卓斌;陈国华;吴文青;
申请日2021-10-28
分类号G01L27/00(20060101);
代理机构44327 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙);
代理人杨连华
地址 528400 广东省中山市火炬开发区中山六路陵岗村
入库时间 2023-06-19 14:31:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
公开
发明专利申请公布
机译: 图案校正方法和光掩模的制造方法
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