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一种调校装置及其调校方法

摘要

本公开提供了一种调校装置,包括:底座;棱镜定位模块,设置于底座上,包括:下棱镜定位模块和上棱镜定位模块,其中,下棱镜定位模块用于将下棱镜进行定位,并使下棱镜的胶合面保持水平状态;上棱镜定位模块用于将上棱镜定位,并使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面贴合。本公开还提供了一种调校方法。

著录项

  • 公开/公告号CN114114603A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN202111428098.7

  • 申请日2021-11-26

  • 分类号G02B7/18(20210101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王文思

  • 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

  • 入库时间 2023-06-19 14:20:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-01

    公开

    发明专利申请公布

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