一种红外热成像传感器像元及红外热成像传感器

摘要

本发明提供一种红外热成像传感器像元及红外热成像传感器，涉及传感器像元领域，包括：桥墩、桥臂、桥面、互连通孔、热敏电阻以及释放孔；所述像元结构整体呈现夹心式叠层结构，所述顶铝处于所述像元结构最底层，所述桥面处于所述像元结构最顶层，所述桥墩、桥臂、互连通孔以及所述热敏电阻均处于所述叠层结构内部。通过夹心式叠层结构设计加大热敏电阻可排布面积，提高了整体像元结构利用率，并降低了材料的闪烁噪声。结合桥臂所用折叠式排布，在有限空间内进一步加大桥臂长度，进而降低了像元结构热导，提升了像元结构整体响应率。另外，中心释放孔的设计，在不破坏热敏电阻的情况下，优化了PI牺牲层在燃烧过程中对于PI胶的释放。