基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统

摘要

本发明公开了一种基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生衍射光条纹图像，依次包括光源、滤光片和滚筒，光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节，再经过滚筒和安放在载物台上的滚轮之间缝隙得到衍射光条纹图像；所述采集单元包括载物台和多个线阵相机，用于采集所述条纹图像，并进行多相机标定；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述条纹图像进行识别，检测所述条纹图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别。本发明能够更加高效地对柔性薄膜均匀性进行检测。