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干式真空泵和泵送设备

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本发明涉及一种干式真空泵(1)，它包括：‑辅助定子(13)，其至少被一个轴(4)穿过；‑入口通道(14)，其设置有可控入口阀(15)，并且将辅助定子(13)的入口(17)连接到与真空泵(1)的出口(8)连通的泵送级(3f)；和‑由所述轴(4)支承的至少一个辅助转子(16)，所述辅助转子(16)构造成使得它在辅助定子(13)中的旋转导致气体在辅助定子(13)的入口(17)和出口(18)之间被泵送，以在命令可控入口阀(15)打开时降低泵送级(3f)中的压力。本发明还涉及一种包括与真空泵(1)相连的进样室的泵送设备。

著录项

公开/公告号CN113574277A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-29

原文格式PDF
申请/专利权人普发真空公司;
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申请/专利号CN202080021803.9
发明设计人 Y·格勒尼耶;
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申请日2020-03-30
分类号F04C18/12(20060101);F04C18/18(20060101);F04C18/344(20060101);F04C23/00(20060101);F04C25/02(20060101);F04C28/26(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人雷明;吴鹏
地址法国安纳西
入库时间 2023-06-19 13:02:24

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-04-15

实质审查的生效 IPC(主分类):F04C18/12 专利申请号:2020800218039 申请日:20200330

实质审查的生效

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