超纯水制造装置及超纯水制造方法

摘要

目的是提供一种在离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置具备多个分支流路、多个离子交换装置、多个开闭阀及开度变更部。多个分支流路使被处理水的流路分支并在下游侧合流。多个离子交换装置分别设在多个分支流路上，分别具有离子交换树脂。多个开闭阀分别设在各个分支流路上的各个离子交换装置的前后。开度变更部将开闭阀的开度根据所设定的时间的经过而变更。

说明书

技术领域

本发明涉及超纯水制造装置及超纯水制造方法。

背景技术

以往，在半导体的制造工艺等中使用的超纯水是使用超纯水制造装置制造的。超纯水制造装置主要由例如原水中的悬浊物质除去而制造前处理水的前处理部、将前处理水中的总有机碳成分及离子成分使用反渗透膜装置及离子交换装置除去而制造一次纯水的一次纯水制造部、以及将一次纯水中的极微量的杂质除去而制造超纯水的二次纯水制造部构成(例如参照专利文献1)。作为原水，除了使用自来水、井水、地下水、工业用水等以外，还使用在作为超纯水的使用场所的使用点被回收的已使用的超纯水(回收水)等。

这里，二次纯水制造部除了紫外线氧化装置及超滤膜(ultrafiltrationmembrane)装置等以外，还具备安装有离子交换树脂的离子交换装置(离子抛光机，polisher)。离子交换装置相对于被处理水的流路并列地配置有例如4～5台装置。即，多台离子交换装置相对于使被处理水的流路暂且分支并在下游侧合流的多个分支流路分别设置。

可是，离子交换树脂伴随着随时间经过的性能的劣化，需要以例如1年左右的周期进行更换。在将离子交换树脂更换时，在将设在分支流路中的1台离子交换装置的前后的阀关闭后，将该离子交换装置的离子交换树脂更换。另外，在将1台离子交换装置的离子交换树脂更换的过程中，也一边使没有将离子交换树脂更换的其他多台离子交换装置工作，一边持续地进行超纯水的制造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5135654号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在将离子交换树脂更换的过程中，在将上述的阀关闭时，在设有工作中的离子交换装置的分支流路中，随着流量的增加而压力损失增大，结果，在离子交换装置的下游侧的流路中，压力及流量较大地变动。以往以手动进行该操作，以手动操作离子交换树脂装置的上述的阀，一边观察在离子交换装置的下游侧的流路中压力及流量的变动、一边手动地操作入口侧泵的喷出阀，慎重地进行将离子交换装置下游侧的流路压力及流量保持为一定的操作。近年来，将变动的流量及压力通过与流量计及压力计的计测值对应的泵的供水量等进行控制，但在以往的阀的机构上，阀在例如3～5秒等的短时间中被急剧地关闭，所以成为上述的控制不能追随于迅速的流量及压力的变动之结果。

在被处理水或制造对象的超纯水的流路中的流量或压力较大地变动的情况下，因该变动的影响，例如从紫外线氧化装置或泵等的金属制的水流接触面，产生金属胶体等的微粒子。产生的金属胶体等的微粒子有其金属成分逐渐离子化而溶解到水中的情况。此时，由于溶解的金属离子，水中的残留离子量增大，所以导致制造的超纯水的水质的下降。

此外，在被处理水或制造对象的超纯水的流路中的流量或压力较大地变动的情况下，因该变动的影响，例如有由于稳定水流积存在紫外线氧化装置或泵等的构造上的积存部、配管或阀部件的积存部而微粒子等的使水质变差的物质流出的情况。此时，导致制造的超纯水的水质的下降。进而，例如也有通过制造的超纯水的供给压力变动而连接到使用场所(POU)的半导体制造设备等中的纯水的流量等变动、由此给成品率等带来影响的情况。

本发明是为了解决上述问题而做出的，目的是提供一种在设在超纯水制造装置中的离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置及超纯水制造方法。

用来解决课题的手段

本发明的超纯水制造装置具备多个分支流路、多个离子交换装置、多个开闭阀及开度变更部。多个分支流路使被处理水的流路分支并在下游侧合流。多个离子交换装置分别设在多个分支流路上，分别具有离子交换树脂。多个开闭阀分别设在各个分支流路上的各个离子交换装置的前后。开度变更部将开闭阀的开度根据所设定的时间的经过而变更。

此外，本发明的超纯水制造装置具备一次纯水制造部及二次纯水制造部。一次纯水制造部将对原水进行前处理后的前处理水中的有机成分及离子成分除去，制造一次纯水。另一方面，二次纯水制造部将上述制造出的一次纯水中的杂质除去，制造作为超纯水的二次纯水。上述多个分支流路、多个离子交换装置及多个开闭阀被设置在二次纯水制造部中。

进而，本发明的超纯水制造装置的上述开度变更部单独地设定使上述开度变更的时间间隔和上述开度的变更量。此外，上述开度变更部有选择地变更上述多个开闭阀中的某1个开闭阀的开度。

进而，本发明的超纯水制造装置具备泵、计测器及变频器。泵设在比多个分支流路靠上游侧的分支前的流路上。计测器设在在多个分支流路的下游侧合流的流路上，计测该合流的流路中的流量或压力。变频器基于由计测器得到的计测结果，控制泵的动作。

进而，本发明的超纯水制造方法是使用具备上述的多个分支流路、多个离子交换装置、多个开闭阀及开度变更部的上述超纯水制造装置的超纯水制造方法，具有：通过上述开度变更部使设在上述被处理水流通的上述多个分支流路中的1个分支流路上的离子交换装置的前后的开闭阀分别全闭的工序；将上述前后的开闭阀被全闭后的离子交换装置的离子交换树脂更换的工序；以及在上述离子交换树脂的更换后、通过上述开度变更部使全闭的上述前后的开闭阀分别全开的工序。

发明效果

根据本发明，能够提供在设在超纯水制造装置中的离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置及超纯水制造方法。

附图说明

图1是概略地表示有关本发明的实施方式的超纯水制造装置的结构的框图。

图2是表示图1的超纯水制造装置具备的二次纯水制造部的结构的框图。

图3是表示图1的超纯水制造装置具备的包括开度变更部的控制系统的结构的框图。

图4是概略地表示由图3的开度变更部进行的伴随着时间经过的阀开度梯度控制的图。

图5是表示在将图2的二次纯水制造部具备的1个离子抛光机的阀全闭的过程中、其下游侧的流路中的压力(或流量)及变频器输出的变动的图。

图6是表示比较例的超纯水制造装置具备的二次纯水制造部的控制系统的结构的框图。

图7是表示在将图6的二次纯水制造部具备的1个离子抛光机的阀全闭的过程中、其下游侧的流路中的压力(或流量)及变频器输出的变动的图。

具体实施方式

以下，基于附图说明本发明的实施方式。

如图1所示，有关本实施方式的超纯水制造装置10具备前处理部12、一次纯水制造部14、罐16及二次纯水制造部18。前处理部12作为原水而导入自来水、井水、工业用水等。该前处理部12根据原水的水质等而适当构成，将原水的悬浊物质除去而生成前处理水。前处理部12例如具备砂过滤装置及精密过滤装置等，还根据需要而具有用来调节被处理水的温度的热交换器等。

一次纯水制造部14将前处理水中的有机成分、离子成分、溶存气体等除去而制造一次纯水，将该一次纯水向罐16供给。一次纯水制造部14例如将反渗透膜装置、离子交换装置(阳离子交换装置、阴离子交换装置、混床式离子交换装置等)、紫外线氧化装置及脱气装置(真空脱气装置、脱气膜装置等)中的1个以上适当组合而构成。一次纯水例如总有机碳(TOC)浓度是5μgC/L以下，电阻率是17MΩ·cm以上。罐16贮存一次纯水，将其需要量向二次纯水制造部18供给。

另一方面，二次纯水制造部18将由一次纯水制造部14制造的一次纯水中的杂质除去而制造作为超纯水的二次纯水，向作为超纯水的使用场所的使用点POU(Point Of Use)供给。另外，经过使用点POU后的剩余量的超纯水被罐16回收。

更具体地讲，如图2所示，二次纯水制造部18具备循环泵(被处理水供给泵)11、热交换器17、紫外线氧化装置(TOC－UV)19、被处理水的流路7、多个分支流路8a、8b…8n、多个作为开闭阀的入口阀3a、3b…3n及出口阀4a、4b…4n、多个作为离子交换装置的离子抛光机1a、1b…1n、脱气装置21、作为计测器的压力计(PI：pressure indicator)23及流量计(FI：Flow Indicator)24。

进而，二次纯水制造部18如图2所示，具有作为计测器的压力开关15、增压泵(被处理水加压泵)20、多个分支流路9a、9b…9n、多个作为开闭阀的入口阀5a、5b…5n及出口阀6a、6b…6n、多个作为离子交换装置的离子抛光机2a、2b…2n、超滤膜装置22、作为计测器的流量计26、压力控制阀(自动压力控制阀：PCV)29、压力计27。

循环泵11设在比多个分支流路8a、8b…8n靠上游侧的分支前的流路7上。该循环泵11将收容在罐16内的一次纯水(被处理水)向热交换器17供给。热交换器17调节被从循环泵11供给的一次纯水的温度。此时，优选的是将一次纯水通过热交换器17温度调节为例如25±3℃。

紫外线氧化装置19向由热交换器17温度调节后的一次纯水照射紫外线，将水中的微量有机物分解除去。紫外线氧化装置(TOC－UV)19例如具有紫外线灯，产生波长185nm附近的紫外线。紫外线氧化装置19也可以产生波长254nm附近的紫外线。如果在紫外线氧化装置19内向被处理水照射紫外线，则紫外线将被处理水分解而生成OH基(羟基)，该OH基将被处理水中的有机物氧化分解。

如图2所示，离子抛光机1a、1b…1n分别设在使被处理水的流路7分支并在下游侧合流的多个分支流路8a、8b…8n上，离子抛光机2a、2b…2n分别设在使被处理水的流路7分支并在下游侧合流的多个分支流路9a、9b…9n上。离子抛光机1a、1b…1n及2a、2b…2n具有混合有阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的混床式的离子交换树脂，是将被处理水中的微量的阳离子成分及阴离子成分吸附除去的非再生型混床式离子交换树脂装置。这里，分支流路8a、8b…8n的数量及分支流路9a、9b…9n的数量分别优选的是2～9(n＝2～9)，更优选的是3～8，更为优选的是3～4。

即，为了在离子交换树脂的更换时也能够进行超纯水制造装置10的连续运转，分支流路的下限的数量最低为2，优选的是3。另一方面，如果分支流路的数量例如超过9，则随之入口阀、出口阀、离子抛光机等的各设备的设置数也增加，这些设备的管理变得麻烦，并且设备的设置空间的制约等也增加，使运行超纯水制造装置10方面的实用性下降。

此外，虽然分支流路的数量较多时，在使入口阀、出口阀开闭动作时能够将下游侧的流路中的流量及压力的变动抑制得较小，但在分支流路的数量过多而每1个分支流路的流量例如不到10m

作为离子抛光机1a、1b…1n及2a、2b…2n具有的阳离子交换树脂，例示强酸性阳离子交换树脂及弱酸性阳离子交换树脂，另一方面，作为阴离子交换树脂，可以举出强碱性阴离子交换树脂及弱碱性阴离子交换树脂。作为混床式的离子交换树脂的市面销售产品，可以使用例如野村微科学(Nomura Micro Science)制N－Lite MBSP、MBGP等。

入口阀3a、3b…3n及出口阀4a、4b…4n分别设在被配置于分支流路8a、8b…8n上的各离子抛光机1a、1b…1n(离子交换装置)的前后，入口阀5a、5b…5n及出口阀6a、6b…6n分别设在被配置于分支流路9a、9b…9n上的各离子抛光机2a、2b…2n(离子交换装置)的前后。这里，上述的被处理水的流路7如图2所示，构成从罐16经过循环泵11、紫外线氧化装置19、分支流路8a、8b…8n、离子抛光机1a、1b…1n、增压泵20、分支流路9a、9b…9n、离子抛光机2a、2b…2n、超滤膜装置22、使用点POU等向罐16返送的循环流路。

脱气装置21是将气体透过性的膜的二次侧减压、仅使在一次侧通流的水中的溶存气体透过到二次侧而除去的例如脱气膜装置等的装置。在脱气装置21中，可以使用例如3M公司制的X50、X40，DIC公司制的Separel等的市面销售产品。脱气装置21将被处理水中的溶存氧除去，生成例如溶存氧浓度为1μg/L以下的处理水。

压力计23及流量计24被设置在脱气装置21的下游侧、即在多个分支流路8a、8b…8n的下游侧合流的流路7上，分别计测该合流的流路7中的压力及流量。增压泵20将由循环泵11进行的供水补足。压力开关15监视增压泵20的附近的流路中的供水压不足。

超滤膜装置2通过对由离子抛光机2a、2b…2n得到的被处理水进行处理，例如将粒子径50nm以上、优选的是20nm以上、更优选的是10nm以上的微粒子除去，得到超纯水(二次纯水)。超纯水的水质例如是粒子径50nm以上的微粒子数为50pcs./L以下、总有机碳(TOC)浓度为1μgC/L以下、电阻率为18MΩ·cm以上。

流量计26被设置在超滤膜22与使用点POU之间、即在多个分支流路9a、9b…9n的下游侧合流的流路7上，计测该合流的流路7中的流量。压力计27被设置在使用点POU与压力控制阀29之间的流路7上。压力控制阀29其主体的阀的开度被自动控制，以使由压力计27计测的压力成为预先决定的一定的压力(设计值的压力)。

此外，如图3所示，本实施方式的超纯水制造装置10具有控制盘31，进而，二次纯水制造部18具备控制机32、作为开度变更部发挥功能的控制机33和变频器34。控制盘31向包括控制机32、33、变频器34的超纯水制造装置主体的各部供给电力，并且综合地控制这些各部。

控制机32取得压力计23及流量计24的计测结果。变频器34基于从控制机32得到的压力计23或流量计24的计测结果，控制循环泵11的动作(泵驱动马达的转速)，以使计测的压力或流量成为预先决定的一定的压力或一定的流量。进而，虽然省略了图示，但控制机32也能够取得流量计26的测量结果。变频器34基于从控制机32得到的流量计26的计测结果，也对增压泵20的动作(泵驱动马达的转速)进行控制，以使由流量计26计测的流量成为预先决定的一定的流量。

这里，设在离子抛光机1a、1b…1n及2a、2b…2n的前后的入口阀3a、3b…3n及5a、5b…5n、以及出口阀4a、4b…4n及6a、6b…6n，是具有上述的定位器(positioner)35的定位器式的开闭阀(开度调节阀)。该定位器35受控制机(开度变更部)33控制，是对上述的入口阀3a、3b…3n及出口阀4a、4b…4n、以及入口阀5a、5b…5n及出口阀6a、6b…6n的开度进行控制的电子式开度控制器。基于来自控制机33的指示，定位器35通过例如空气的驱动力使用来调节入口阀3a、3b…3n及出口阀4a、4b…4n的开度的致动器的位置移动。

上述的控制机(开度变更部)33能够根据设定的时间的经过而变更入口阀3a、3b…3n及出口阀4a、4b…4n、以及入口阀5a、5b…5n及出口阀6a、6b…6n的开度。该控制机(开度变更部)33在实际的动作时，有选择地变更多个入口阀3a、3b…3n及出口阀4a、4b…4n、以及入口阀5a、5b…5n及出口阀6a、6b…6n中的某1组入口阀及出口阀的开度。此外，控制机33分别地设定使某1组入口阀及出口阀的开度变更的时间间隔和该开度的变更量。

即，控制机33受理来自用户的经由规定的接口的输入操作，设定与该输入值对应的上述时间间隔和上述变更量。如图4所示，在从阀的开度为全闭的开度0％到阀的开度为全开的开度100％的开度范围中，控制机33通过作为开度的变更量(增减量)而设定例如1％、3％、5％、10％等的量，并且例如作为该开度的变更量所需要的时间间隔(增减期间)而设定6秒或60秒等的时间间隔，能够进行阀的开度的梯度控制。优选的是，基于该设定，将该开闭阀的开度从全开到全闭或从全闭到全开以一定的比例变更。

这样的控制机33如在图4中概念性地表示那样，在从控制盘31接收到阀的开信号或闭信号的情况下，对于多个入口阀3a、3b…3n及出口阀4a、4b…4n中的某1组阀的开度，强制采用预先设定的例如10分钟～20分钟(或超过20分钟的时间)等的比较长的时间，进行将阀的开度逐渐从全闭(0％)变更到全开(100％)的控制、或将阀的开度从全开逐渐变更到全闭的控制。此外，在图4中例示了连续地变更开度的情况，但也可以将其不连续地阶段性地进行。

顺便说一下，离子抛光机1a、1b…1n及2a、2b…2n具有的离子交换树脂伴随着随时间经过的性能的劣化而例如需要以1年左右的周期进行更换。在将离子交换树脂更换时，在将设在多个分支流路8a、8b…8n及9a、9b…9n中的1个分支流路上的离子抛光机的前后的入口阀及出口阀通过控制机33分别设为全闭后，将该离子抛光机的离子交换树脂更换。另外，在将该离子抛光机中的离子交换树脂更换的过程中，也一边使不更换离子交换树脂的其他的多台离子抛光机工作，一边持续地进行超纯水的制造。

这里，在将离子交换树脂更换的过程中，在将上述的入口阀等关闭时，在设有工作中的离子抛光机的分支流路中，随着流量的增加而压力损失增加，结果，在离子抛光机的下游侧的流路7中压力或流量变动。但是，本实施方式的超纯水制造装置10通过采用上述的作为定位器式的入口阀及出口阀、以及作为电子式开度控制器的控制机(开度变更部)33，如图5所示，能够花费例如10分钟～20分钟的比较长的时间使入口阀等的开度从全开(Open)成为全闭(Close)。另外，采用的阀并不限定于定位器式，只要是能够花费上述时间进行开度调整的阀，也可以使用其他的机构，但从开度的微调的容易度这一点上，定位器式是最优选的。

因而，如图5所示，能够将离子抛光机的下游侧的流路7中的压力或流量的变动(振动)A1、A2及变频器输出的振动A3、A4抑制得较小，所以由二次纯水制造部18制造的超纯水的水质的下降被抑制，由此，能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水。

另一方面，图6用框图表示比较例的超纯水制造装置具备的二次纯水制造部中的包括控制盘81的控制系统的结构。如图6所示，设在离子抛光机的前后的入口阀83a、83b…83n及出口阀84a、84b…84n是以往的空气驱动式的开闭阀。这些以往的入口阀及出口阀不具有与时间的经过对应的开度的调整功能，在被发送了来自控制盘81的闭信号、开信号的情况下，经由弹簧等的施力，以3秒～5秒等的短时间例如从全开转移至全闭。以往的空气驱动式的入口阀及出口阀即使是在驱动空气的通气路中配置有节流孔(小孔)的类型，从全开到全闭的转移时间也是例如10秒～15秒的时间。

采用了这样的以往的入口阀83a、83b…83n及出口阀84a、84b…84n的比较例的超纯水制造装置例如在将离子抛光机1a的离子交换树脂更换的过程中，在将入口阀83a全闭时，在设有工作中的离子交换装置的分支流路中，随着流量的增加而压力损失增大，结果如图7所示，在离子抛光机1a的下游侧的流路7中，压力或流量较大地变动(压力或流量较大的振动B1、B2以及变频器输出较大的振动B3、B4)。

具体而言，变动的流量或压力虽然根据流量计23及压力计24的计测值而通过经由变频器34的循环泵11的供水量等被变频器控制，但在上述以往的入口阀83a等的机构上，由于例如在3秒～5秒等的短时间中入口阀83a被急剧地关闭，所以成为上述的变频器控制不能追随于急速的流量及压力的变动的结果。

在被处理水(二次纯水)的流路7中的流量或压力较大地变动的情况下，因其变动的影响，例如从紫外线氧化装置或泵等的金属制的水流接触面产生金属胶体等的微粒子，有该微粒子的金属成分逐渐离子化而溶解到水中的情况。此时，由于溶解的金属离子，水中的残留离子量增大，所以有导致制造的超纯水(二次纯水)的水质的下降的情况。

此外，在被处理水或制造对象的超纯水的流路中的流量或压力较大地变动的情况下，因其变动的影响，例如有由稳定水流而积存在紫外线氧化装置或泵等的构造上的积存部、配管或阀部件的积存部中的微粒子等的使水质变差的物质流出的情况。此时，导致制造的超纯水的水质的下降。

相对于此，本实施方式的超纯水制造装置10由于能够花费比较长的时间将离子抛光机的前后的开闭阀关闭，所以在离子交换树脂的交换时，也能够在抑制水质的下降的同时制造超纯水。作为将该开闭阀关闭所花费的时间，优选的是5分钟～30分钟，更优选的是10～20分钟。如果比5分钟短，则不能抑制流量或压力的变动。此外，如果超过30分钟，则在操作中过多花费时间，所以实用性下降。另外，根据流路的分支的数量，在阀的开闭中花费的时间的最优值严格地不同，但即使考虑这一点，也不论分支的数量如何，都能够大致以上述的范围来应对。

接着，对使用超纯水制造装置10的超纯水制造方法概略地进行说明。

首先，使用图1所示的超纯水制造装置10，通过通常的操作，制造超纯水。通过持续进行该超纯水的制造，如上述那样离子交换树脂的性能随时间经过而劣化，所以在适当的时机将其更换。在离子交换树脂的更换时，如图2、图3所示，首先，将多个分支流路8a、8b…8n、9a、9b…9n中的1个离子抛光机决定为更换对象。这里，以下以将交换对象的离子抛光机例如设为设在分支流路8a上的离子抛光机1a的情况为例进行说明。接着，通过控制机(开度变更部)33，使相对于作为交换对象的、被处理水流通的离子抛光机1a设在其前后、为全开状态的入口阀3a及出口阀4a花费20分钟等的较长的时间分别逐渐地变更开度而全闭。具体而言，在使入口阀3a全闭后，再使出口阀4a全闭。通过使出口阀4a全闭，能够防止被处理水向离子抛光机1a的倒流。

接着，将前后的入口阀3a及出口阀4a被全闭后的离子抛光机1a的离子交换树脂更换为新的离子交换树脂。在将离子交换树脂更换后，在通过控制机33花费20分钟等的较长的时间使出口阀4a全开后，再花费较长的时间使入口阀3a全开。由此，离子抛光机1a能够用新的离子交换树脂进行被处理水的处理。

并且，同样对于其他的离子抛光机1b～1n、离子抛光机2a～2n中的离子交换树脂的更换，每次1台离子抛光机而依次进行。由此，能够不停止超纯水的制造操作而顺畅地进行离子抛光机具有的离子交换树脂的更换。

并且，如已述那样，在有关本实施方式的超纯水制造装置10及超纯水制造方法中，在将离子抛光机具有的离子交换树脂更换时，由于能够将离子抛光机的前后的入口阀及出口阀花费时间缓缓地关闭，所以能够抑制离子抛光机的下游侧的流路中的压力及流量的变动。因而，由二次纯水制造部18带来的被处理水的水质的下降被抑制，由此，能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水。

此外，本实施方式的超纯水制造装置10例如具有在增压泵20的上游侧的压力开关15的计测值比规定的最低压力低的情况下、控制盘31强制性地使使用点POU处的超纯水的供给停止的功能等。但是，在超纯水制造装置10中，如上述那样，在将离子抛光机1a、1b…1n的前后的入口阀及出口阀关闭的情况下，也能够抑制其下游侧的流路7中的压力的变动，所以能够降低由增压泵20的上游侧的压力开关15进行的下降检测等为原因的使用点POU处的超纯水的供给停止等的风险。

以上，通过实施方式具体地说明了本发明，但本发明并不原样限定于这些实施方式，在实施阶段中能够在不脱离其主旨的范围内各种各样地变更。例如，也可以从实施方式所示的全部构成要素中删除几个构成要素，也可以将在上述实施方式中公开的多个构成要素适当组合。

标号说明

1a～1n、2a～2n…离子抛光机(离子交换装置)；3a～3n、5a～5n…入口阀(开闭阀)；4a～4n、6a～6n…出口阀(开闭阀)；10…超纯水制造装置；11…循环泵；14…一次纯水制造部；18…二次纯水制造部；19…紫外线氧化装置(TOC－UV)；20…增压泵；23…压力计(计测器)；24、26…流量计(计测器)；31…控制盘；32…控制机；33…控制机(开度变更部)；34…变频器；35…定位器。