流体控制装置

摘要

流体控制装置(10)具备阀门(110)、泵(120)以及薄膜阀(14)。阀门(110)具备第一主板(11)、第二主板(12)以及第一侧板(13)，且具有阀室(115)。第一主板(11)具有第一通气孔(111)，第二主板(12)具有第二通气孔(121)。薄膜阀(14)配置于阀室(115)内。第一通气孔(111)位于阀室(115)的中央区域，第二通气孔(121)位于阀室(115)的外缘区域。薄膜阀(14)位于第一通气孔(111)与第二通气孔(121)之间。薄膜阀(14)在外缘区域侧的端部或者中央区域侧的端部能够振动的状态下固定于第二主板(12)。

说明书

技术领域

本发明涉及利用压电体的流体控制装置。

背景技术

以往，针对利用压电体来输送流体的流体控制装置，如专利文献1所示，进行有各种设计。

专利文献1所示的流体控制装置利用借助压电体形成的振动来输送流体。在流体控制装置的阀室内以整流阀形成为将阀室内上下分割。该整流阀振动，由此将阀室内流体向一个方向输送。

专利文献1：国际公布第2016/63711号

然而，在专利文献1记载的流体控制装置的结构中，整流阀与阀室中开口的边缘反复碰撞。由此，存在整流阀磨损、破损的担忧。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供具有整流功能，而且可靠性较高的流体控制装置。

该发明的流体控制装置具备阀门、泵、以及阀芯。阀门具备：第一主板；第二主板，其具有与第一主板的一个主面对置的一个主面；以及第一侧板，其将第一主板与第二主板连接，且具有由第一主板、第二主板以及第一侧板形成的阀室。第一主板具有使阀室的内外连通的第一通气孔，第二主板具有使阀室的内外连通的第二通气孔。泵具备：振动板，其与第一主板的另一个主面对置配置，且配置有压电元件；和第二侧板，且具有由第一主板、振动板以及第二侧板形成的泵室。泵室经由第一通气孔而与阀室连通。阀芯配置于阀室内。

从第一主板的一个主面正面观察第二主板的一个主面，阀室具有中央区域和包围该中央区域的外缘区域。第一通气孔位于阀室的中央区域，第二通气孔位于阀室的外缘区域。或者，第一通气孔位于阀室的外缘区域，第二通气孔位于阀室的中央区域。阀芯位于第一通气孔与第二通气孔之间。阀芯在外缘区域侧的端部或者中央区域侧的端部能够振动的状态下固定于第一主板或者第二主板。

在该结构中，通过阀芯的振动来进行整流，并且阀芯不与第一通气孔和第二通气孔接触，因此能够抑制阀芯的磨损、破损。因此，提高可靠性。

另外，在该发明中，优选在第一主板或者第二主板中与阀芯的活动区间对置的区域涂覆有涂敷剂。

在该结构中，抑制因薄膜阀与第一主板、第二主板接触引起的损伤。

另外，在该发明中，优选涂敷剂的杨氏模量低于第一主板和第二主板的杨氏模量。

在该结构中，能够缓和薄膜阀与第一主板或者第二主板接触时的冲击，而进一步抑制薄膜阀的损伤。

另外，在该发明中，优选阀芯是根据阀室的压力变动来在能够振动的端部与没有固定有阀芯的主板抵接的形态和能够振动的端部与没有固定有阀芯的主板不抵接的形态之间切换的形状。

在该结构中，通过阀芯的能够振动的端部与没有固定有阀芯的主板抵接的形态，来对中央区域与外缘区域之间进行遮挡，通过阀芯的能够振动的端部与没有固定有阀芯的主板不抵接的形态，来使中央区域与外缘区域之间连通。由此，提高整流效果。

另外，在该发明中，阀芯的能够振动的部分在将中央区域与外缘区域连结起来的方向上的长度大于第一主板与第二主板间的距离。

该结构中，容易实现阀芯的能够振动的端部与没有固定有阀芯的主板抵接的形态。

另外，在该发明中，优选第一通气孔位于中央区域，第二通气孔位于外缘区域。

在该结构中，在泵室中的压力变动的区域，连通第一通气孔。因此，能够利用较大的压力变动使阀芯动作。

另外，在该发明中，优选阀芯以中央区域和外缘区域中靠第二通气孔所处侧的区域这侧的端部能够振动的状态，固定于第一主板或者第二主板。

在该结构中，在第一主板接近第二主板期间，阀芯以进行遮挡的形式动作。因此，能够通过由第一主板的振动引起的第一主板与第二主板间的距离的变动，促进阀芯的整流功能。

另外，在该发明中，优选阀芯是环状。在该结构中，能够实现阀芯的上述的功能，并且通过简单的结构实现阀芯。

根据该发明，在具有整流功能的流体控制装置中，能够实现较高的可靠性。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的流体控制装置10的分解立体图。

图2是表示本发明的第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的剖视图。

图3的(A)和图3的(B)是表示薄膜阀14的动作的放大剖视图。

图4是示意性地表示流体控制装置10的动作的图。

图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的流体控制装置10A的结构的剖视图。

图6的(A)和图6的(B)是表示薄膜阀14A的动作的放大剖视图。

图7是表示本发明的第三实施方式所涉及的流体控制装置10B的结构的剖视图。

图8的(A)和图8的(B)是表示的薄膜阀14B的动作的放大剖视图。

图9的(A)、图9的(B)是表示振动板16的形状例的俯视图。

图10的(A)、图10的(B)是表示第一主板11的形状例的俯视图。

图11是表示第二主板12的形状的俯视图。

图12是表示本发明的第一实施方式的变形例所涉及的流体控制装置10C的结构的剖视图。

具体实施方式

(第一实施方式)

参照附图对本发明的第一实施方式的流体控制装置进行说明。图1是本发明的第一实施方式所涉及的流体控制装置10的分解立体图。图2是表示本发明的第一实施方式所涉及的流体控制装置10的构成的剖视图。此外，在以下各实施方式所示的各图中，为了使说明容易理解，将各个构成要素的形状局部或整体上夸张地记载。

如图1、图2所示，流体控制装置10具备阀门110、泵120。

首先，对泵120的构造进行说明。对于泵120而言，如图1所示，将构成阀门110的第一主板11作为一个构成要素来形成。泵120由第一主板11、振动板16、压电元件17、第二侧板18形成。

从第一主板11侧俯视(正面观察)，第二侧板18是圆筒状。另外，第二侧板18配置于第一主板11与振动板16之间，将第一主板11与第二侧板18连接。更具体而言，在俯视下，第一主板11与振动板16的中心对齐。第二侧板18将这样配置的第一主板11与振动板16的周缘遍及整周地连接。

在振动板16以贯通振动板16的形态形成有多个第三通气孔161。多个第三通气孔161配置为自振动板16的中心为等距离的圆环状。

根据该结构，泵120具有由被第一主板11、振动板16以及第二侧板18围起的中空区域构成的泵室125。泵室125与第一通气孔111、第三通气孔161连通。

压电元件17由圆板的压电体和驱动用的电极构成。驱动用的电极形成于圆板的压电体上的两主面。

压电元件17配置于振动板16的与泵室125侧相反这一侧，即泵120的外侧。此时，在俯视下，压电元件17的中心与振动板16的中心大致对齐。

压电元件17与未图示的控制部连接。该控制部生成交流电压，施加于压电元件17。由此，压电元件17伸缩，因此振动板16屈曲振动。在施加于压电元件17的交流电压的频率接近流体控制装置10的共振频率时，振动板16的屈曲振动变大。

这样，因振动板16屈曲振动，由此泵室125的体积变动。因此，泵室125内的流体的压力变动。其结果为，在第一通气孔111或者第三通气孔161处，流体的流入和流出周期性地重复。

另外，振动板16的屈曲振动经由第二侧板18传递到第一主板11，第一主板11也屈曲振动。第一主板11与振动板16向反方向振动。即，在附图中，在振动板16向上方向变形时，第一主板11向下方向变形，且在振动板16向下方向变形时，第一主板11向上方向变形。由于第一主板11的这种屈曲振动，泵室125的体积变动增大，因此，第一通气孔111或者第三通气孔161处的流体的流入和流出增大。

振动板16例如是外径

接下来，对阀门110的构造进行说明。阀门110具备第一主板11、第二主板12、第一侧板13、薄膜阀14、以及接合部件15。薄膜阀14与本发明的「阀芯」对应。

如图1所示，第一主板11和第二主板12是圆板状。另外，第一侧板13是圆筒状。例如第二主板12的外径

第一侧板13配置于第一主板11与第二主板12之间，且将第一主板11与第二主板12连接成它们对置。更具体而言，在俯视下，第一主板11与第二主板12的中心对齐。第一侧板13将这样配置的第一主板11与第二主板12的周缘在整周上连接。

第一主板11的第一通气孔111形成为贯通第一主板11的大致中心。此外，第一通气孔111也可以是在第一主板11的大致中心形成有多个。

第二主板12具有第二通气孔121。第二通气孔121形成为贯通第二主板12，且形成于第二主板12的互异的外端附近。换而言之，第二通气孔121在第二主板12的整周上形成为圆环状。此外，第二通气孔121也可以是形成于第二主板12的外端附近的一个通气孔。

此外，第一侧板13也可以与第一主板11或者第二主板12一体形成。即，第一主板11或者第二主板12也可以是中央凹陷的凹部形状。

根据该结构，阀门110具有由被第一主板11、第二主板12以及第一侧板13围起的中空区域构成的阀室115。另外，阀室115与第一通气孔111连通，并且与第二通气孔121连通。

薄膜阀14呈圆环形状，且配置于第二主板12的靠阀室115侧的面。

薄膜阀14由金属箔、树脂薄膜等轻型且挠性较高的材料形成。此外，薄膜阀14若是聚酰亚胺膜，则耐湿性较高，因此特别好。对于薄膜阀14而言，例如，薄膜阀14的厚度是5μm，外径(直径)是5.9mm，内径(直径)是4.9mm。

薄膜阀14使用圆环形状的接合部件15来与第二主板12接合。更具体而言，薄膜阀14中圆环形的靠内端侧的规定宽度的部分通过接合部件15来与第二主板12接合，外端侧的区域没有与第二主板12接合。即，薄膜阀14在外端侧的规定面积的区域能够振动的状态下与第二主板12接合。对于接合部件15而言，例如外径

此外，薄膜阀14中能够振动的部分的在从中央区域朝向外缘区域的方向上的长度(在从内端侧朝向外端侧的方向上的长度)L，优选是第一主板11与第二主板12间的距离(第一主板11与第二主板12的相互对置的主面间的距离)D以上。由此，容易使薄膜阀14的外端与第一主板11抵接。而且，例如优选使长度L为距离D的2倍以上。由此，更容易实现进行抵接的形态。而且，例如优选使长度L为距离D的50倍以下。由此，容易实现抵接的形态和没有抵接的形态。此外，这里的距离D，只要是在将第一主板11的振动状态考虑进来使薄膜阀14抵接的形态下，基于在该状态下的第一主板11与第二主板间的距离(例如，第一主板11与第二主板12最为接近时的距离)来设定即可。

在俯视下，第一通气孔111配置于由薄膜阀14的外端围起的中央区域。在俯视下，第二通气孔121同样是配置于比薄膜阀14的外端靠外侧的外缘区域。

在这样的结构中，与振动板16的屈曲振动相应地，薄膜阀14像如下所示那样动作。图3的(A)和图3的(B)是表示薄膜阀14的动作的放大剖视图。此外，在图3的(A)、图3的(B)中，省略第一主板11的位移的图示。

(中央区域：相对高压，外缘区域：相对低压)

在振动板16向泵室125侧移动中，即、振动板16与第一主板11接近着的期间，第一通气孔111附近的压力上升。因此，如图3的(A)所示，俯视下的阀室115的中央区域形成得压力比阀室115的外缘区域高(相对高压)。

该情况下，如图3的(A)所示，薄膜阀14的靠外缘侧的区域向第二主板12侧弯曲，离开第一主板11。由此，阀室115的中央区域与外缘区域连通，积存在中央区域的流体被向外缘区域输送，从第二通气孔121排出。

此时，薄膜阀14从第一主板11远离，因此不阻碍流体的输送。此外，在该期间，也从第三通气孔161流出流体，但该流出的流体的流量少于在后述的图3的(B)的期间从第三通气孔161流入的流体的流量。

(中央区域：相对低压，外缘区域：相对高压)

在振动板16向与泵室125侧相反一侧移动中，即、振动板16与第一主板11远离着的期间，第一通气孔111附近的压力降低。因此，如图3的(B)所示，俯视下的阀室115的中央区域形成得压力比阀室115的外缘区域低(相对低压)。

该情况下，如图3的(B)所示，薄膜阀14的靠外缘侧的区域向第一主板11侧弯曲，与第一主板11的表面抵接。由此，对阀室115的中央区域与外缘区域形成遮挡。因此，抑制流体从外缘侧朝中央区域的返流，流体从第三通气孔161朝泵室125流入。该期间流入的流体的流量比图3的(A)期间的从第三通气孔161流出的量多出第一通气孔111处流入少的量。

(连续动作)

这样，在第二通气孔121处，图3的(A)的期间的流出量较多，图3的(B)的期间的流入量较少。因此，由于利用图3的(A)的期间与图3的(B)的期间之间反复而引起的连续动作，从第二通气孔121流出流体。

相对于此，在第三通气孔161处，图3的(A)的期间的流出量较少，图3的(B)的期间的流入量较多。因此，通过利用图3的(A)的期间与图3的(B)的期间之间反复而引起的连续动作，从第三通气孔161流入流体。

由此，由于因图3的(A)的期间与图3的(B)的期间之间的反复引起的连续动作，流体从第三通气孔161流入，从第二通气孔121流出。

更具体而言，流体控制装置10周期性地反复进行图4所示的动作。图4的各形态(ST1－ST8)下的箭头示意性地表示流体的流动方向、和流量。在该周期动作中，薄膜阀14没有与第一通气孔111和第二通气孔121接触。因此，不易产生薄膜阀14的磨损、破损。

另外，在本实施方式的构成中，第一通气孔111配置于第一主板11的中央区域。因此，第一通气孔111配置于泵室125中体积变动即压力变动较大的区域。因此，能够利用较大的压力变动使薄膜阀14动作，提高整流效果。

另外，在本实施方式的构成中，薄膜阀14的内端侧(中央区域侧)固定。因此，在因第一主板11的振动，使第一主板11与第二主板12接近的期间，薄膜阀14向第一主板11侧变形。因此，薄膜阀14容易与第一主板11抵接，能够迅速实现遮挡状态。由此，促进利用薄膜阀14的整流功能。

此外，在本实施方式中，示出了利用接合部件15将薄膜阀14的内端固定的形态，但薄膜阀14的内端与接合部件15的侧面也可以齐平。即，也可以在从薄膜阀14的内端朝外端侧错开了的位置，通过接合部件15，使薄膜阀14与第二主板12接合。

(第二实施方式)

参照图对本发明的第二实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的流体控制装置10A的结构的剖视图。

如图5所示，相对于第一实施方式的流体控制装置10，第二实施方式的流体控制装置10A在薄膜阀14A的固定构造上不同。流体控制装置10A的其他的结构与流体控制装置10相同，省略相同的部位的说明。

薄膜阀14A由与薄膜阀14相同的结构构成。薄膜阀14A中圆环形的外端侧的规定宽度的部分通过接合部件15A来与第二主板12接合，内端侧的区域与第二主板12不接合。由此，薄膜阀14A在内端侧的规定面积的区域能够振动的状态下与第二主板12接合。

在这样的结构中，与振动板16的屈曲振动相应地，薄膜阀14A像如下所示这样进行动作。图6的(A)和图6的(B)是表示薄膜阀14A的动作的放大剖视图。此外，在图6的(A)、图6的(B)中，省略第一主板11的位移的图示。

(中央区域：相对高压，外缘区域：相对低压)

在振动板16向泵室125侧移动中，即、振动板16与第一主板11接近着的期间，第一通气孔111附近的压力上升。因此，如图6的(A)所示，俯视下的阀室115的中央区域形成得压力比阀室115的外缘区域高(相对高压)。

该情况下，如图6的(A)所示，薄膜阀14A的靠内端侧的区域向第一主板11侧弯曲，与第一主板11的表面抵接。由此，将阀室115的中央区域与外缘区域间遮挡。因此，抑制流体从阀室115的中央区域朝外缘侧的返流，泵室125内的流体从第三通气孔161朝外部流出。在该期间从第三通气孔161流出的流体的流量多于在后述的图6的(B)的期间从第三通气孔161向泵室125内流入的流体的流量。

(中央区域：相对低压，外缘区域：相对高压)

在振动板16向与泵室125侧相反一侧移动中，即、振动板16与第一主板11远离着的期间，第一通气孔111附近的压力降低。因此，如图6的(B)所示，俯视下的阀室115的中央区域比阀室115的外缘区域压力低(相对低压)。

该情况下，如图6的(B)所示，薄膜阀14的靠内缘侧的区域向第二主板12侧弯曲，离开第一主板11。由此，阀室115的中央区域与外缘区域连通，从第二通气孔121流入的流体被从阀室115的外缘区域向中央区域输送。

此时，薄膜阀14离开第一主板11，因此，不阻碍流体的输送。此外，在该期间，也从第三通气孔161流入流体，但该流入的流体的流量少于在图6的(A)的期间从第三通气孔161流出的流体的流量。

(连续动作)

这样，在第二通气孔121处，图6的(A)的期间的流出量较少，图6的(B)的期间的流入量较多。因此，由于图6的(A)的期间与图6的(B)的期间的反复引起的连续动作，流体从第二通气孔121流入。

相对于此，在第三通气孔161处，图6的(A)的期间的流出量较多，图6的(B)的期间的流入量较少。因此，由于因图6的(A)的期间与图6的(B)的期间之间的反复引起的连续动作，从第三通气孔161流出流体。

由此，由于因图6的(A)的期间与图6的(B)的期间之间的反复引起的连续动作，流体从第二通气孔121流入，从第三通气孔161流出。

而且，在该周期动作中，薄膜阀14A不与第一通气孔111和第二通气孔121接触。因此，不易产生薄膜阀14A的磨损、破损。

(第三实施方式)

参照图对本发明的第三实施方式的流体控制装置进行说明。图7是表示本发明的第三实施方式的流体控制装置10B的结构的剖视图。

如图7所示，相对于第一实施方式的流体控制装置10，第三实施方式的流体控制装置10B在第一通气孔111B、第二通气孔121B、薄膜阀14B上不同。流体控制装置10B的其他的结构与流体控制装置10相同，省略相同的部位的说明。

第一通气孔111B是多个。多个第一通气孔111B配置为距第一主板11的中心等距离的圆环状。第二通气孔121B是多个。多个第二通气孔121B配置为距第二主板12的中心等距离的圆环状。

薄膜阀14B由与薄膜阀14相同的结构构成。薄膜阀14B中圆环形的外端侧的规定宽度的部分通过接合部件15B来与第二主板12接合，内端侧的区域与第二主板12不接合。由此，薄膜阀14B在内端侧的规定面积的区域能够振动的状态下与第二主板12接合。

多个第二通气孔121B在俯视下配置于由薄膜阀14B的外端围起的区域内，多个第一通气孔111B在俯视下配置于比由薄膜阀14B的外端围起的区域靠外侧的位置。

根据这样的结构，与振动板16的屈曲振动相应地，薄膜阀14B像如下所示这样进行动作。图8的(A)和图8的(B)是表示薄膜阀14B的动作的放大剖视图。此外，在图8的(A)、图8的(B)中，省略振动板16的位移的图示。

(中央区域：相对低压，外缘区域：相对高压)

在振动板16向泵室125侧移动中，即、振动板16与第一主板11接近着的期间，第一通气孔111B附近的压力上升。因此，如图8的(A)所示，俯视下的阀室115的外缘区域变得压力比阀室115的中央区域高(相对高压)。

该情况下，如图8的(A)所示，薄膜阀14B的靠内缘侧的区域向第二主板12侧曲，离开第一主板11。由此，阀室115的中央区域与外缘区域连通，外缘区域的流体被向中央区域输送，从第二通气孔121B排出。

此时，薄膜阀14B离开第一主板11，不阻碍流体的输送。此外，在该期间，也从第三通气孔161流出流体，但该流出的流体的流量少于在后述的图8的(B)的期间从第三通气孔161流入的流体的流量。

(中央区域：相对高压，外缘区域：相对低压)

在振动板16向与泵室125侧相反一侧移动中，即、振动板16与第一主板11远离着的期间，第一通气孔111B附近的压力降低。因此，如图8的(B)所示，俯视下的阀室115的中央区域变得压力比阀室115的外缘区域高(相对高压)。

该情况下，如图8的(B)所示，薄膜阀14B的靠内缘侧的区域向第一主板11侧弯曲，与第一主板11的表面抵接。由此，将阀室115的中央区域与外缘区域间遮挡。因此，抑制流体从中央区域朝外缘侧的返流，从第三通气孔161朝泵室125流入流体。该期间的流入的流体的流量比图8的(A)期间的从第三通气孔161流出的量多出第一通气孔111B处的流入少的部分。

(连续动作)

这样，在第二通气孔121B处，图8的(A)的期间的流出量较多，图8的(B)的期间的流入量较少。因此，由于因图8的(A)的期间与图8的(B)的期间之间的反复引起的连续动作，流体从第二通气孔121B流出。

相对于此，在第三通气孔161处，图8的(A)的期间的流出量较少，图8的(B)的期间的流入量较多。因此，由于因图8的(A)的期间与图8的(B)的期间之间的反复引起的连续动作，从第三通气孔161流入流体。

由此，由于因图8的(A)的期间与图8的(B)的期间之间的反复引起的连续动作，流体从第三通气孔161流入，从第二通气孔121B流出。

而且，在该周期动作中，薄膜阀14B不与第一通气孔111B和第二通气孔121B接触。因此，不易产生薄膜阀14B的磨损、破损。

此外，上述中的振动板、第一主板以及第二主板例如能够利用如下所示的形状。以下，显示第一实施方式的流体控制装置10中各种形状，但针对其他实施方式的流体控制装置，也能够利用与在第一实施方式中使用的概念相同的概念，来采用各种形状。

图9的(A)、图9的(B)是表示振动板16的形状例的俯视图。

在图9的(A)所示的形状中，形成有16个第三通气孔161。16个第三通气孔161配置于距振动板16的中心Co等距离的圆周上。换而言之，16个第三通气孔161以振动板16的中心Co为基准点，配置为圆环状。16个第三通气孔161隔开规定的间隔配置。

在图9的(B)所示的形状中，形成有两个第三通气孔161。两个第三通气孔161距中心Co等距离配置。

此外，第三通气孔161的个数和形成位置并不限定于图9的(A)、图9的(B)所示的情况。

图10的(A)、图10的(B)是表示第一主板11的形状例的俯视图。

在图10的(A)所示的形状中，形成有一个第一通气孔111。一个第一通气孔111形成于第一主板11的中心Co。

在图10的(B)所示的形状中，形成有四个第一通气孔111。四个第一通气孔111配置于距第一主板11的中心Co等距离的圆周上。第一通气孔111优选配置于第一主板11的中心Co的附近。

此外，第一通气孔111的个数和形成位置并不限定于图10的(A)、图10的(B)所示的情况。

图11是表示第二主板12的形状的俯视图。

在图11所示的形状中，形成有16个第二通气孔121。16个第二通气孔121配置于距第二主板12的中心Co等距离的圆周上。换而言之，16个第二通气孔121配置为距第二主板12的中心Co等距离的圆环状。16个第二通气孔121隔开规定的间隔配置。

在第一通气孔111偏离中心Co的情况下，第二通气孔121所配置的圆的直径大于第一通气孔111与中心Co间的距离(第一通气孔111配置为圆环状的情况下，该圆的直径)。

此外，第二通气孔121的个数和形成位置并不限定于图11所示的情况。

另外，薄膜阀也可以是将多个扇形的薄膜局部重叠且在整周上配置的形态。

另外，在上述的说明中，示出了将薄膜阀固定于第二主板的结构，但也能够固定于第一主板。

另外，在上述的说明中，通过薄膜阀抵的形态和不抵接的形态，产生整流效果。然而，也能够通过薄膜阀的振动，控制薄膜阀的配置位置处的第一主板11与第二主板12间的距离，控制流路阻力等，从而产生整流效果。但是，通过使用薄膜阀抵接的形态和不抵接的形态，能够获得更高整流效果。

(变形例)

图12是表示本发明的第一实施方式的变形例所涉及的流体控制装置10C的结构的剖视图。相对于第一实施方式所涉及的流体控制装置10，在涂覆有涂敷剂200这点上不同。流体控制装置10C的其他的结构与流体控制装置10相同，省略相同的位置的说明。

如图12所示，涂敷剂200涂覆于第一主板11的与薄膜阀14的活动区间对置的区域、和第二主板12的与薄膜阀14的活动区间对置的区域。

通过这样构成，抑制因薄膜阀14与第一主板11、第二主板12接触引起的损伤。

此外，涂敷剂200的主成分只要是像硅酮橡胶、PTFE这样杨氏模量比第一主板11、第二主板12低的树脂即可。对于这些涂敷剂而言，杨氏模量较低，因此能够缓和薄膜阀14与第一主板11、或者第二主板12接触时的冲击，且抑制薄膜阀14的损伤。

此外，涂敷剂200更优选为以氟或二硫化钼为主成分的物质。这些涂敷剂的表面具有润滑性，因此也能够抑制薄膜阀14与第一主板11、第二主板12的摩擦引起的损伤。

此外，涂敷剂200涂覆于第一主板11、第二主板12中的一方的情况也能够获得相同的效果。

此外，上述的各实施方式的结构能够适当地组合，能够起到与各自的组合相应地作用效果。

附图标记说明

ST1、ST2、ST3、ST4、ST5、ST6、ST7、ST8…形态；10、10A、10B、10C…流体控制装置；11、11B…第一主板；12…第二主板；13…第一侧板；14、14A、14B…薄膜阀；15、15A、15B…接合部件；16…振动板；17…压电元件；18…第二侧板；110…阀门111、111B…第一通气孔；115…阀室；120…泵；121、121B…第二通气孔；125…泵室；161…第三通气孔；200…涂敷剂。