光学成像的像差测量方法及光学成像方法

摘要

本发明公开了一种光学成像的像差测量方法及光学成像方法，应用的光学成像系统用于产生一路参考光以及一路测量光，将测量光发射至被测样品并获取由被测样品反射回的测量光，根据参考光和由被测样品返回的测量光的干涉光对被测样品进行成像。光学成像系统的成像装置用于捕获干涉光中属于第一波段范围的光实现焦前成像，得到第一光强分布图像，以及捕获干涉光中属于第二波段范围的光实现焦后成像，得到第二光强分布图像，根据第一光强分布图像和第二光强分布图像获得光学成像系统成像的像差信息，进而能够根据成像像差进行相应校正，提高成像精度。