公开/公告号CN109004098A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 上海钥熠电子科技有限公司;
申请/专利号CN201810875410.9
发明设计人 陈文勇;
申请日2018-08-03
分类号H01L51/50(20060101);H01L51/52(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构31227 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司;
代理人胡永宏
地址 201203 上海市浦东新区芳春路400号1幢3层
入库时间 2023-06-19 07:38:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/50 申请日:20180803
实质审查的生效
2018-12-14
公开
公开
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置