公开/公告号CN108828896A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201810552404.X
申请日2018-05-31
分类号G03F1/36(20120101);G03F7/20(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人韩建伟;谢湘宁
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 07:14:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/36 申请日:20180531
实质审查的生效
2018-11-16
公开
公开
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