处理3D激光扫描仪系统中的校准数据的方法

摘要

一种方法，包括：确定(i)校准图案的一组预期图案位置与(ii)所述校准图案的一组测量图案位置之间的一组图案位置误差，所述校准图案在被定位在激光系统的激光处理场中的激光目标上并且是基于与所述激光系统的扫描光学器件相关联的一组初始扫描光学器件致动校正产生的；基于所述一组初始扫描光学器件致动校正来确定一组扫描光学器件致动速率；以及基于所述一组扫描光学器件致动速率和所述一组图案位置误差来更新所述一组初始扫描光学器件致动校正，以便形成与所述一组图案位置误差的至少一部分的减少相关联的一组更新的扫描光学器件致动校正。