基于模块的工艺设备、工艺设备控制装置及方法

摘要

本发明公开基于模块的工艺设备、工艺设备控制装置及方法。基于模块的工艺设备，包括：多个模块，分别具备固有的模块标识符；及控制部，从多个模块接收与多个模块对应的多个模块标识符，基于所接收的多个模块标识符确定需对工艺对象实施的工艺，根据所确定的工艺来控制至少一个模块，以对工艺对象实施工艺。