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石英上拱形结构及下拱形结构

摘要

本发明的实施方式涉及一种石英拱形结构组件。该拱形结构组件包括上拱形结构与下拱形结构。该上拱形结构包括:中心窗;以及上周边凸缘,该上周边凸缘在该中心窗的圆周处接合于该中心窗,其中在该中心窗的内侧表面上的切线相对于该周边凸缘的平坦上表面成约8°至约16°的角度,该切线通过该中心窗与该上周边凸缘的相交处。该下拱形结构包括:下周边凸缘;以及底部,该底部连接该下周边凸缘与中心开口,其中在该底部的外侧表面上的切线相对于该下周边凸缘的平坦底部表面成约8°至约16°的角度,该切线通过该下周边凸缘与该底部的相交处。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20131218

    实质审查的生效

  • 2018-08-03

    公开

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