一种基于量子隧道效应的机械式光电开关

摘要

本发明涉及微/纳机械电子系统(MEMS/NEMS)技术领域，具体的说，是一种基于量子隧道效应的弱耦合机械式光电开关，该光电开关由两个通过机械耦合的悬臂梁组成，分别为主动悬臂梁和被动悬臂梁，两个梁通过机械部件耦合；当存在光压时，被动梁动力学特性发生变化，并通过机械耦合部件反馈到主动梁；由于存在量子隧道效应，主动梁对反馈产生的位移变化极为敏感；在机械耦合系数一定时，不同光强下，主动梁存在着持续振荡和中止振荡两种状态，将持续振荡视为开关闭合，振荡中止视为开关断开；最终，通过调整机械耦合部分的耦合系数，可以在不同光强下实现开关的开启和闭合。