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流量计算系统和流量计算方法

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本发明提供流量计算系统和流量计算方法，能高精度地校准流体控制设备(MFC)的流量。所述流量计算系统(200)包括：封入有气体的容器(10)；放置容器(10)的重量测量部(20)；以及连接容器(10)和流体控制设备(MFC)并流通气体的气体管道(L1)，在容器(10)放置于重量测量部(20)上的状态下，从容器(10)向流体控制设备(MFC)或者从流体控制设备(MFC)向容器(10)流通气体，根据从重量测量部(20)输出的输出值，计算流体控制设备(MFC)中流通的气体流量，容器(10)和重量测量部(20)配置在被减压了的减压室(40)内。

著录项

公开/公告号CN108227762A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-29

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社堀场STEC;
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申请/专利号CN201711283306.2
发明设计人丹尼尔·托马斯·马德;威廉·怀利·怀特;
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申请日2017-12-07
分类号G05D7/06(20060101);G01F1/86(20060101);
代理机构11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;
代理人周善来;李雪春
地址日本京都府
入库时间 2023-06-19 05:46:55

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-11-05

实质审查的生效 IPC(主分类):G05D7/06 申请日:20171207

实质审查的生效
2018-06-29

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