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吹净装置、吹净储料器以及吹净方法

摘要

提供能够节约吹净气体并且进行适当的吹净的吹净装置。吹净装置(4)具备:向吹净对象的容器(F)供给吹净气体(G1)的第一吹净喷嘴(41)、在开始基于第一吹净喷嘴的吹净处理前检测容器的内部状态的内部状态检测部(8)、以及基于内部状态检测部的检测结果决定相对于容器的吹净条件的吹净决定部(48)。

著录项

  • 公开/公告号CN108140598A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 村田机械株式会社;

    申请/专利号CN201680049390.9

  • 发明设计人 村田正直;山路孝;

    申请日2016-07-14

  • 分类号

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人舒艳君

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2023-06-19 05:35:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/673 申请日:20160714

    实质审查的生效

  • 2018-06-08

    公开

    公开

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