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通过使用基于氮化钼的涂层的磨损和/或摩擦减少

摘要

本发明涉及一种包括涂覆有涂层的衬底表面的部件,所述涂层包括具有不小于40nm的厚度的至少一个MoN层,其特征在于在所述衬底表面与所述至少一个MoN层之间:i)包括衬底表面硬化层,其是硬化的含氮衬底表面层并且具有不小于10nm、优选地不小于20nm并且不大于150nm的厚度,所述硬化的含氮衬底表面层通过在所述衬底表面处进行氮化处理产生,和/或ii)包括由多于2个MoN层和多于2个CrN层组成的层系统,其中形成所述层系统的所述MoN和CrN层是彼此交替沉积以形成多层MoN/CrN涂层膜的单独层。

著录项

  • 公开/公告号CN107873064A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-04-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201680030533.1

  • 申请日2016-05-25

  • 分类号C23C30/00(20060101);C23C28/04(20060101);C23C28/00(20060101);C23C14/32(20060101);C23C14/06(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人崔幼平;邓雪萌

  • 地址 瑞士普费菲孔

  • 入库时间 2023-06-19 05:00:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C30/00 申请日:20160525

    实质审查的生效

  • 2018-04-03

    公开

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