一种双腔单振子压电泵

摘要

本发明公布了一种双腔单振子压电泵，包括上泵体、中泵体、下泵体、双晶片压电振子、瓣膜阀；上、下泵体各有一个泵腔入口，在入口处安装瓣膜阀，下泵体和上泵体通过中泵体进行连接，在中泵体和下泵体之间安装双晶片压电振子，里侧的两个对称出口腔完全位于下泵体，外侧的两个对称出口腔通过中泵体出口腔和上泵体出口腔进行连通；施加交流电信号于双晶片压电振子，双晶片压电振子在电信号的刺激下产生弯曲变形，使上下泵体两个泵腔的容积产生交替性变化，利用容积的变化产生泵腔内外的压力差实现液体的吸入与输出。本发明具有输出液体流量大、阻回流效果好等优势，在微型机器人、药物运输等领域具有广阔的应用前景。