含第Ⅳ族金属元素的化合物、其制备方法、包含其的膜沉积用前体组合物和利用该组合物的膜沉积方法

摘要

本发明提供新型含第Ⅳ族金属元素的化合物、制备所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的方法、包含所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的膜沉积用前体组合物和利用所述前体组合物沉积含第Ⅳ族金属元素的膜的方法。