一种多晶硅冷氢化法中四氯化硅的汽化方法及汽化装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅冷氢化法中四氯化硅的汽化方法及汽化装置，所述方法包括如下步骤：在恒定的系统压力下将液相四氯化硅和氢气混合；对所述液相四氯化硅和氢气的混合体进行加热，直至液相四氯化硅气化。在多晶硅生产中，采用该汽化方法及汽化装置能够较少的消耗电能或者不消耗电能。