公开/公告号CN107039255A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-11
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201611012304.5
申请日2016-11-17
分类号H01L21/268(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;邱晓敏
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 03:00:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/268 申请日:20161117
实质审查的生效
2017-08-11
公开
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