具有内部致动器的微机械运动控制装置

摘要

本发明涉及具有内部致动器的微机械运动控制装置。所述装置(100)可包括外部框架(506)、平台(520)及运动控制机构(501、505、514、515、516)。所述运动控制机构可经调适以准许所述平台相对于所述外部框架在所要的方向上移动及抑制所述平台(520)相对于所述外部框架(506)的旋转。致动器(550)可至少部分包含在所述运动控制机构内。