用于传送薄板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置

摘要

本发明涉及一种用于传送薄板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置。所述桥接构件包括：支撑部件，其包括用于支撑所述薄板从其上通过的上表面和与所述上表面相对的下表面，所述支撑部件包括位于所述上表面一侧的第一端和与所述第一端相对的第二端；第一固定部件，其连接至所述第一端并被构造为能够将所述桥接构件固定至第一传动轴。薄板传送装置包括：多个传动轴，所述传动轴包括花滚轮结构，以及上述桥接构件，所述桥接构件设置在相邻的至少两个所述传动轴之间，且所述桥接构件的上表面与所述传动轴的最顶端平齐。

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制备领域。更具体地，本发明涉及一种用于传送薄 板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置。

背景技术

在半导体制备的湿制程作业期间，薄板(本文所述的薄板通常指板厚 在0.15毫米以下的薄板，尤指板厚在0.06毫米以下的超薄板)随着传动 轴的不停转动而向前移动。如图1所示，位于传动轴10、20之间的喷头 30a以及位于传动轴10、20相对侧的喷头30b、30c分别将处理液体从薄 板40的下方和上方垂直地喷向薄板40以对其进行清洗或蚀刻作业。但是， 由于薄板(或超薄板)相对较薄，处理液体的喷射会使得薄板的与液体接 触的位置承受较大压力，喷射后残留在薄板上的部分处理液体也会使薄板 出现受力不均的情况，这都会导致薄板产生不期望的翘曲(例如，薄板表 面凹凸不平或薄板边部下垂(参见图1的40a)等)，发生翘曲的薄板又容 易卡在喷头处无法继续行进(“卡板”)而导致整个作业流水线的瘫痪。另 外，若传动轴之间的间距较大，特别是在两槽体之间连接处的传动轴之间 间距较大,将会加剧卡板现象的发生。

为了避免上述情况，现有技术通常采用的解决方式是在薄板传送方向 的前进端设置一相对较厚的带板，该带板通过胶带与薄板连接。由于带板 较厚，不易受处理液体的影响而产生形变，从而可以带动薄板顺利地在传 动轴之间行进，这解决了卡板问题。但是，胶带内残存的药液容易渗出而 腐蚀薄板的铜线路，这严重影响薄板的品质。另外，附接和剥离带板的操 作也可能使薄板发生破裂，影响生产效率。

因此，本领域需要一种既能够防止薄板发生卡板又不会由于附接带板 而对薄板品质产生额外风险的装置。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种用于传送薄板的桥接构件，其包 括：支撑部件，其包括用于支撑所述薄板从其上通过的上表面和与所述上 表面相对的下表面，所述支撑部件包括位于所述上表面一侧的第一端和与 所述第一端相对的第二端；第一固定部件，其连接至所述第一端并被构造 为能够将所述桥接构件固定至第一传动轴。

本发明进一步提供一种薄板传送装置，其包括：多个传动轴，所述传 动轴包括花滚轮结构，以及如上所述的桥接构件，所述桥接构件设置在相 邻的至少两个所述传动轴之间，且所述桥接构件的上表面与所述传动轴的 最顶端平齐。

藉此，本发明的桥接构件以及包括其的传送装置能够防止薄板发生卡 板又不会对薄板的品质产生不良影响。桥接构件的制造简单、成本低廉、 效果显著，适合大规模应用于薄板的湿制程作业。

附图说明

图1示出了传送薄板的机构的示意图。

图2示出了根据本发明一个实施例的用于传送薄板的桥接构件的示意 图。

图3示出了根据本发明另一实施例的用于传送薄板的桥接构件的另一 示意图。

图4示出了根据本发明又一实施例的用于传送薄板的桥接构件的安装 示意图。

具体实施方式

如下，将更详细地描述本发明的用于薄板传动的桥接构件。本发明的 桥接构件设置为桥接相邻的至少两个传动轴以使其上的薄板能够顺利通 过这些传动轴。

如图2所示，桥接构件100包括支撑部件101。其中，支撑部件101 包括用于支撑薄板从其上通过的上表面1011和与所述上表面1011相对的 下表面1012。支撑部件101还包括位于所述上表面1011一侧的第一端1013 和与所述第一端1013相对的第二端1014。

桥接构件100进一步包括第一固定部件102。第一固定部件102连接 至支撑部件101的第一端1013并被构造为将所述桥接构件100固定至第 一传动轴。本领域技术人员可以理解，可以采用任何方式来实现第一固定 部件102和支撑部件101之间的连接，只要保证薄板能够顺利地在桥接构 件上行进即可。例如，第一固定部件102的上部与支撑部件101的第一端 1013一体成型从而实现平滑的无缝连接。第一固定部件102的下部被构造 为具有开口1021以与第一传动轴的外轮廓相匹配从而使第一固定部件102 卡和至第一传动轴。在一个优选的实施例中，为了保证薄板在桥接部件上 平稳传送，所述开口1021被构造为其内径稍大于所匹配的第一传动轴的 外径的弧形开口或半圆形开口。进一步地，该弧形开口或半圆形开口的两 侧的最前端还各自包括向下或略向内延伸的延长段1022以保证桥接构件 100不会由于传动轴的转动而轻易脱落。

在一个实施例中，支撑部件101的上表面1011和下表面1012在第二 端1014处相互平行。在优选的实施例中，该上表面1011在所述第二端1014 的部分被构造为朝向下表面1012倾斜一角度，例如，但不限于10-30度(如 图2所示)，这有利于薄板平稳地传送离开传动轴。

如图3所示，在另一个实施例中，桥接构件100包括第二固定部件103。 第二固定部件103连接至支撑部件101的第二端1014并被构造为将所述 桥接构件100固定至第二传动轴。优选地，第二固定部件103被构造为与 所述第一固定部件102相同。例如，第二固定部件103的下部被构造为具 有开口以与第二传动轴的外轮廓相匹配从而使第二固定部件103卡和至该 传动轴。在一个优选的实施例中，为了保证薄板在桥接部件上平稳传送， 所述开口被构造为其内径稍大于所匹配的第二传动轴的外径的弧形开口 或半圆形开口。进一步地，该弧形开口或半圆形开口的两侧的最前端还各 自包括向下或略向内延伸的延长段以保证桥接构件不会由于该传动轴的 转动而轻易脱落。

桥接构件100可以由任意合适的材料制成，例如，但不限于PP、PVC 等高分子塑料材料、铁氟龙或其他合适材料，其中，优选地为使用具有抗 酸抗碱腐蚀的铁氟龙。

本发明进一步提供一种薄板传送装置，其包括多个传动轴以及上文提 到的桥接构件100，其中，所述传动轴包括花滚轮结构。所述桥接构件100 设置在两个相邻的所述传动轴之间(如图4所示)，通常在间距大于1厘 米的两个相邻传动轴之间设置桥接构件100。且所述桥接构件100的上表 面与所述传动轴的最顶端平齐。更具体地，所述设置有桥接构件100的两 个相邻的传动轴200包括花滚轮结构，其分别具有中心柱201和围绕并突 出于中心柱201而间隔设置的多个肩部202。桥接构件100的第一固定部 件设置在相邻的两个肩部202之间的中心柱。优选地，桥接构件100被构 造和安置为：使其第一固定部件和/或第二固定部件卡住中心柱的同时其支 撑部件的上表面与肩部的最顶端平齐，从而防止薄板在传动轴间行进时发 生板脚撕裂或卡板现象。桥接构件可选择一个或多个并排设置在传动轴 上，桥接构件之间优选间距为薄板在传动轴方向的1/4宽度，以便起到更 好的支撑作用。在一个实施例中，本发明薄板传送装置进一步包括槽体、 电机和用于进行湿制程作业的喷头。其中，槽体内部两侧内壁水平平行地 设置有多个传动轴。每个传动轴的两端均安装有链轮，相邻链轮之间安装 有链条，电机与传动轴相连接以带动其旋转。所述喷头设置于传动轴的上 方及/或下方，已对经由传动轴水平传送的薄板上表面进行清洗或蚀刻作 业。

尽管已经阐明和描述了本揭示的不同实施例，本揭示并不限于这些实 施例。仅在某些权利要求或实施例中出现的技术特征并不意味着不能与其 他权利要求或实施例中的其他特征相结合以实现有益的新的技术方案。在 不背离如权利要求书所描述的本揭示的精神和范围的情况下，许多修改、 改变、变形、替代以及等同对于本领域技术人员而言是明显的。