一种含锆膜层的镀膜玻璃及其制备方法

摘要

一种含锆膜层的镀膜玻璃及其制备方法，包括玻璃基片、镀制于玻璃基片表面的功能膜层、镀制于功能膜层表面的含锆膜层，含锆膜层材料为SiNx和ZrSiOxNy的混合物，该混合物中SiNx重量百分比为50％-70％，且58％-63％最佳；在玻璃基片上用磁控溅射方式沉积功能膜层，再用磁控溅射方式在功能膜层外沉积含锆膜层；上述步骤在真空度0.1Pa真空室内工作，含锆膜层沉积结束，释放真空，充入N