薄膜太阳能电池堆叠制造方法及其薄膜太阳能电池

摘要

本发明揭露一种薄膜太阳能电池堆叠制造方法及其薄膜太阳能电池，其包含基板、非晶硅层、第一导电型层、本质型堆叠层、第二导电型层以及背电极层。非晶硅层位于基板上。第一导电型层位于非晶硅层上。本质型堆叠层位于第一导电型层上，且本质型堆叠层由下而上由不同沉积率的第一本质型层、第二本质型层及第三本质型层堆叠而成，该第二本质型层，相对于该第一本质型层及该第三本质型层具有较高的沉积率。第二导电型层位于本质型堆叠层上。背电极层位于第二导电型层上方，该背电极层取出电能。