一种用于涂胶显影机的温湿度控制器及涂胶显影机

摘要

本发明涉及一种用于涂胶显影机的温湿度控制器，包括由多个制冷片串联形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间，每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。本发明可实现制冷片与水冷却散热铝板、储冷铝板箱外壁之间的绝对绝缘，避免因某个制冷片的损坏使整个机台电力跳电，使机台内的产品免于全部重做，同时还可使更换制冷片的整个过程的干净和快速。

说明书

技术领域

本发明涉及涂胶显影机，特别是涉及一种用于涂胶显影机的温湿度控制器 及使用该温湿度控制器的涂胶显影机。

背景技术

在现有技术中，涂胶显影机台(Track机台)中的温湿度控制器(Temperature  humidity cotroller)包括多个制冷片组，如图1、图2、图3所示为其中的1个制 冷片组，它由4个制冷片1串联形成，制冷片的冷热面分别涂散热膏夹于水冷 却散热铝板2和储冷铝板箱外壁3之间，水冷却散热铝板和储冷铝板箱外壁两 者通过螺丝固定而成。温湿度控制器可以共串联6组制冷片组。通过施加给制 冷片的电流变化，实现对流经储冷铝板箱内部、进入主机台“上光阻单元”的 空气温/湿度进行高精度控制，避免光阻液内的化学成分因环境变化而固化不均， 发生光阻层厚度异常。

但是，由于制冷片老化或修机时机台通断电时间间隔太短等原因，可能会 造成处于制冷片内的部分PN结烧毁而使做为制冷片冷热面的绝缘陶瓷片少量 碎裂，而且制冷片的冷热面所涂的散热膏没有机械强度，在外力压紧时会失去 绝缘功能，因此，破坏了制冷片与铝板之间的绝缘，而所有水冷却散热铝板利 用导线串联后与机台电力保护地线(GND)相接，从而造成机台电力跳电，届 时机台内的产品必须全部重做。而机台内“上光阻单元”温/湿度传感器，制冷 片组的水冷却散热铝板上温度传感器4等侦测元件，都因机台断电而无法发挥 应有的作用，这不符合机台设计者初衷。

发明内容

针对现有技术中存在的缺陷和不足，本发明的目的是提出一种温湿度控制 器，使制冷片内的PN结烧毁时也能保证制冷片与水冷却散热铝板、储冷铝板箱 外壁之间的绝对绝缘，从而避免因某个制冷片的损坏使整个机台电力跳电。

为了达到上述目的，本发明提出一种用于涂胶显影机的温湿度控制器，包 括由多个制冷片串联形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷 却散热铝板和储冷铝板箱外壁之间，每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述 储冷铝板箱外壁之间具有导热绝缘垫片。

作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有至少将所述制冷片完全 覆盖的面积。

作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有高导热系数。

作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片是低热阻的绝缘散热垫片。

作为上述技术方案的优选，使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所 述多个制冷片。

一种涂胶显影机，包括温湿度控制器，所述温湿度控制器包括由多个制冷 片串联形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影机的水冷却散热铝板和 储冷铝板箱外壁之间，每个制冷片与所述水冷却散热铝板、所述储冷铝板箱外 壁之间具有导热绝缘垫片。

作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有至少将所述制冷片完全 覆盖的面积。

作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片具有高导热系数。

作为上述技术方案的优选，所述绝缘散热垫片是低热阻的绝缘散热垫片。

作为上述技术方案的优选，使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所 述多个制冷片。

本发明提出的温湿度控制器以及使用该温湿度控制器的涂胶显影机利用导 热绝缘垫片替代没有机械强度的当外力压紧时会失去绝缘功能的散热膏，可实 现制冷片与水冷却散热铝板、储冷铝板箱外壁之间的绝对绝缘，避免因某个制 冷片的损坏使整个机台电力跳电，使机台内的产品免于全部重做，同时还可使 更换制冷片的整个过程的干净和快速。

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。对于所属 技术领域的技术人员而言，从对本发明的详细说明中，本发明的上述和其他目 的、特征和优点将显而易见。

附图说明

图1为现有技术温湿度控制器中制冷片组的立体示意图；

图2为图1制冷片组的俯视图；

图3为图1制冷片组的仰视图；

图4为本发明提出的温湿度控制器中制冷片组的立体示意图；

图5为图4制冷片组的俯视图；

图6为图4制冷片组的仰视图；

具体实施方式

如图1、图2、图3所示，本发明提出的一种用于涂胶显影机的温湿度控制 器，包括由多个制冷片1串联形成的制冷片组，所述制冷片位于所述涂胶显影 机的水冷却散热铝板2和储冷铝板箱外壁3之间，每个制冷片与水冷却散热铝 板2、储冷铝板箱外壁3之间具有导热绝缘垫片5。

采用导热绝缘垫片5代替现有技术中的散热膏可实现制冷片1与水冷却散 热铝板2、储冷铝板箱外壁3之间有效接触面积的增加以及绝对绝缘，不会因为 一个制冷片中的PN结烧毁而导致整个机台电力跳电，使机台内的产品免于全部 重做，同时还可使更换制冷片的整个过程的干净和快速。

使用的绝缘散热垫片5最好具有至少将制冷片1完全覆盖的面积。

而且，绝缘散热垫片5应最好具有高导热系数(例如可以为3.5W/mK)，以 及，绝缘散热垫片5应当是低热阻的绝缘散热垫片。这样才不会对制冷片的功 效产生大的影响。

绝缘散热垫片5的厚度可以例如为0.2mm。

在现有技术中，各个制冷片是采用压接方式进行串联，不利于快速判断和 更换损坏的制冷片。因此，作为上述技术方案的进一步的优选实施例，本发明 还采用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头替代压接。工程师可利用机台警报或 其他维修工具在线或离线方式快速判断和更换各制冷片组内损坏的制冷片，减 少停机时间，避免因产品的重做而增加运营成本。

通常，对于涂胶显影机来说，整个制冷系统采用6组制冷片组串联，其中 每组串联4片制冷片，当采用高导热系数的导热绝缘垫片替代散热膏时，若某 个制冷片发生部分PN结烧毁造成该制冷片断路，则所有制冷片都无法工作，机 台内“上光阻单元”温/湿度传感器4将动作，使机台发出警报，通知工程师处 理；若某个制冷片发生部分PN结烧毁造成该制冷片短路，则其他制冷片仍能工 作，只不过工作电流略变大(由于机台设计时，已经对制冷片工作电流范围留 有余量，所以此时的电流对其他制冷片影响不会太大)；若多个制冷片同时短路， 为了高精度控制温度，余下的制冷片必然会因工作电流很大而热面更热，所以 此时6个制冷片组的水冷却散热铝板上的串联在一起的1个或多个温度传感器4 会因过温而动作，机台会因此而发出过温警报，通知工程师处理。

相应地，本发明还提出一种涂胶显影机，包括温湿度控制器，所述温湿度 控制器包括由多个制冷片1串联形成的制冷片组，所述制冷片1位于所述涂胶 显影机的水冷却散热铝板2和储冷铝板箱外壁3之间，每个制冷片1与所述水 冷却散热铝板2、所述储冷铝板箱外壁3之间具有导热绝缘垫片5。

其中，所述绝缘散热垫片5具有至少将所述制冷片1完全覆盖的面积。

所述绝缘散热垫片5具有高导热系数。

绝缘散热垫片5应当是低热阻的绝缘散热垫片

使用带有绝缘套管的可拆拔的公母接头串联所述多个制冷片。

虽然，本发明已通过以上实施例及其附图而清楚说明，然而在不背离本发 明精神及其实质的情况下，所属技术领域的技术人员当可根据本发明作出各种 相应的变化和修正，但这些相应的变化和修正都应属于本发明的权利要求的保 护范围。