光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备

摘要

本发明涉及光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备，该光滤波器具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。

说明书

技术领域

本发明涉及测量入射光的特性的光滤波器、使用该光滤波器的特性测量方法、具备该光滤波器的分析设备以及具备该光滤波器的光设备。

背景技术

以往，公知有如下的一种波长可变干涉滤波器，其具备隔着间隙对置配置的一对反射膜，通过使该间隙的尺寸变化，从入射光中使希望波长的光分光(例如，参照专利文献1)。

该专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器具有一对基板和在该一对基板的彼此对置的面上分别设置的一对多层膜(反射膜)。另外，在该波长可变干涉滤波器的一对反射膜上分别形成有静电驱动电极，通过对该静电驱动电极施加电压，可以调整间隙的间隔。

专利文献1：日本特开平11-142752号公报。

然而，在具备如上述专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器的分光测量装置中，通过切换施加在波长可变干涉滤波器的静电驱动电极上的电压来切换被分光的光的波长，从而测量各个被分光的光的光量。此时，若将对静电驱动电极施加的电压从高电压切换到低电压，则存在一对反射膜的间隙的间隔达到所希望的值为止的时间较长的问题。即，静电驱动电极的静电引力F如以下的式(1)所示，由施加电压与一对静电驱动电极间的间隔(对置电极间距离)的函数表示。

$F(g,V)-\alpha {\left(\frac{V}{\mu -x}\right)}^2···\left(1\right)$

这里，在式(1)中，V是对静电驱动电极施加的施加电压，g是未施加电压的初期状态下的对置电极间的距离，x是一对静电驱动电极的相对位移量，α表示常数。如上述式(1)所示，由于静电引力F与对置电极间距离(g-x)成反比例，所以电极间距离越大，静电引力F越小。因此，当按照对静电驱动电极施加的电压从高电压切换到低电压并增大对置电极间距离的方式使静电引力F作用时，在电压的切换时刻，静电引力F急剧变弱。另一方面，对设置有静电驱动电极基板，作为施加高电压时静电力F的反力作用了使基板返回到初始状态的复原力。因此，若将对静电驱动电极施加的电压被从高电压切换到低电压，则在该切换时刻，复原力比静电引力F大，导致间隙间隔发生变动而超过希望值。即，发生所谓的超调。当发生这样的超调时，由于设置有静电驱动电极的基板产生衰减而自由振荡，所以存在直到振荡消失，即间隙间隔的变动停止为止，不能实施测量，从而不能迅速地实施分光测量的问题。

发明内容

鉴于上述那样问题，在本发明的目的在于提供一种能够进行迅速地进行分光测量的光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备。

本发明的光滤波器的特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。

这里，在本发明中包括两种构成：第一基板和第二基板中的任意一方通过向另一方侧挠曲，使第一反射膜与第二反射膜的间隔变化的构成；以及第一基板和第二基板双方向彼此接近的方向挠曲，使第一反射膜与第二反射膜的间隔变化的构成。

在本发明中，电压控制部将电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。即，从入射到分光测量装置的入射光中使波长不同的光分光后，测量光的光量时，电压控制部首先将第一电极与第二电极的电位差设定为第一电位差，使具有第一波长的光(第一光)透过。然后，将第一电极与第二电极的电位差设为比第一电位差高的第二电位差，使具有比第一波长短的第二波长的光(第二光)透过。

这里，当从第二电位差切换到比第二电位差小的第一电位差时，如上述那样，第二电位差时的复原力比第一电位差时的静电引力大。因此，由于超调等的发生，使基板的衰减自由振荡的时间变长，从而无法实施迅速的光特性的测量。与此相反，在本发明中，电压控制部由于从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差，所以可以抑制基板的衰减自由振荡，从而可以实施迅速的分光测量。

在本发明的光滤波器中，优选设定为所述第二电位差的期间比设定为所述第一电位差的期间长。

在本发明中，设定为所述第二电位差的期间比设定为第一电位差的期间长。当将第一电极与第二电极的电位差设为比第一电位差大的第二电位差时，由于基板的复原力也变大，所以存在基板到静止为止的时间变长的情况。即，存在间隙间隔稳定到稳定位置为止的时间变长的情况。与此相反，通过将第二电位差的期间设定得第一电位差的期间长，可以使间隙间隔稳定在稳定位置。

在本发明的光滤波器中，优选所述电压控制部设定为所述第一电位差时，对所述第一电极施加第一电压，而设定为所述第二电位差时，所述第一电极施加第二电压，所述第一电压是第一直流电压，所述第二电压是第二直流电压。

在本发明中，当设为第一电位差时对第一电极施加恒定电压的直流电压，当设为第二电位差时对第二电极施加恒定电压的直流电压，由此与使用交流电压的情况相比能够稳定地保持间隙间隔。

在本发明的光滤波器中，优选具有：受光部，其接收透过所述第一反射膜及所述第二反射膜后的光；和测量部，其对所述受光部接收到的所述光的受光量进行测量，所述测量部，当设定为所述第一电位差时对透过所述第一反射膜及所述第二反射膜后的第一光的受光量进行测量；当设定为所述第二电位差时对透过所述第一反射膜及所述第二反射膜后的第二光的受光量进行测量。

在本发明中，分别对第一电极与第二电极之间的电位差被设定为第一电位差时以及被设定为第二电位差时，透过第一反射膜以及第二反射膜的光的光量进行测量。并且，如上述那样，通过从电压低的第一电位差切换到电压高的第二电位差，顺次地将第一反射膜与第二反射膜之间的间隔缩短，可以更迅速地测量在入射光中包含的各个波长成分的光的光量。

在本发明的光滤波器中，优选所述电压控制部还可以将所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差设定为比所述第二电位差大的第三电位差，并且从所述第二电位差切换到所述第三电位差，所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位差之差的绝对值小。

从上述式(1)可以看出，静电引力与电位差的平方成正比。因此，向电位差变大的方向，即切换为第一电位差、第二电位差、第三电位差时，当第一电位差和第二电位差之差的绝对值，与第二电位差和第三电位差的绝对值之差相等时，静电引力的急剧增大，这是超调的原因。这里，在本发明中，所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位差之差的绝对值小。由此，可以抑制间隙间隔变窄时的静电引力的急剧增大，可以进一步抑制超调，从而可以实施更迅速的分光测量。

在本发明的光滤波器中，优选所述电压控制部还可以将所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差设定为比所述第二电位差大的第三电位差，并且，从所述第二电位差切换到所述第三电位差，当设定为所述第一电位差时，所述第一反射膜与述第二反射膜之间被设定为第一间隔，当设定为所述第二电位差时，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为比所述第一间隔小的第二间隔，当被设定为所述第三电位差时，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为比所述第二间隔小的第三间隔，所述第一间隔与所述第二间隔之差的绝对值，与所述第二间隔与所述第三间隔之差的绝对值相等。

在本发明中，按照第一间隔与第二间隔之差的绝对值与第二间隔与第三间隔之差的绝对值相等的方式，由电压控制部设定第一电位差、第二电位差、第三电位差。即，将施加在第一电极以及第二电极的电压从第一电位差提升到第二电位差、第三电位差时，第一电极与第二电极的间隔(第一反射膜与第二反射膜的间隙间隔)越窄，间隔对于电压上升值的减少幅度越大。因此，从第一电位差向第二电位差、第三电位差依次变更电位差时，若该电压上升幅度相等，则相对于从第一间隔向第二间隔的变动量，从第二间隔向第三间隔的变动量更变大。在该情况下，当第一反射膜与第二反射膜的间隔被设定得较大时，相对于被分光的长波长的光，切换电压时的透射光的波长的变动量小，虽然可以实施详细的光特性的测量，但是，随着第一反射膜与第二反射膜的间隔变小，透射光的波长的变动量变大，光特性的测量结果也变得不精确。与此相反，如上述那样，通过随着切换到高电压，而减小电压上升值，使得第一间隔与第二间隔之差的绝对值，与第二间隔与第三间隔之差的绝对值相等，可以将能够测量的波段用等波长间隔划分，可以在整个可测量波段，实施详细的特性的测量。

这时，在本发明的光滤波器中，优选所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位差之差的绝对值小。

在本发明中与上述发明同样，按照第一间隔与第二间隔之差的绝对值和第二间隔与第三间隔之差的绝对值相等的方式切换到高电压，电压上升值随之减小，由此可以使用等波长间隔划分可测量波段，从而可以在整个可测量波段，实施详细的特性的测量。

在本发明的光滤波器中，优选具备测量所述第一电极与所述第二电极之间的静电容量的静电容量测量部。

在本发明中，通过使静电容量测量部测量静电容量，可以正确地检测出第一电极以及第二电极之间的间隔。而且，如果第一反射膜以及第二反射膜的膜厚被预先设定，则可以根据第一电极以及第二电极的间隔、第一反射膜以及第二反射膜的膜厚，正确地计算出作为第一反射膜以及第二反射膜的间隔即间隙间隔，并且可以正确地求出透射光滤波器的光的波长。

本发明的特性测量方法通过具有标准具、电压控制部、受光部、测量部的光滤波器来对测量物的特性进行测量，所述标准具具有：第一基板，与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；及设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极，所述电压控制部，其将所述第一电极与所述第二电极之间的电位差设定为第一电位差及比所述第一电位差大的第二电位差中的任意一个，所述受光部，其接收透过了所述标准具的光，所述测量部，其对被所述受光部接收到的所述光的光量进行测量，该特性测量方法包括：对测量物照射光的光照射步骤；通过所述电压控制部设定为所述第一电位差，并从透过所述测量物或者被所述测量物反射而入射到所述标准具的光中提取出第一光的第一电压控制步骤；通过所述受光部接收所述第一光，并通过所述测量部对所接收到的所述第一光的受光量进行测量的第一测量步骤；通过所述电压控制部从所述第一电位差设定为第二电位差，并从透过所述测量物或者被所述测量物反射而入射到所述标准具的所述光中提取出第二光的第二电压控制步骤；及通过所述受光部接收所述第二光，并通过所述测量部对所接收到的所述第二光的受光量进行测量的第二测量步骤。

在本发明中，通过光照射步骤对测量物照射光后，在第一电压控制步骤中，将第一电极与第二电极之间的电位差设定为第一电位差，来调整间隙间隔，在第一测量步骤中，对透过在第一电压控制步骤中设定的间隙间隔的第一反射膜以及第二反射膜的第一光的受光量进行测量。然后，在第二电压控制步骤中，将比第一电位差大的第二电位差施加在第一电极以及第二电极之间，并通过第二测量步骤测量此时透过的第二光的受光量。

这样，通过将电压从电位差低的状态切换到高的状态，实施受光量的测量步骤，可以与上述发明同样地抑制基板的衰减自由振荡，从而可以实施迅速的特性的测量。

在本发明的特性测量方法中，优选在所述第二电压控制步骤中，设定为所述第二电位差的期间，比在所述第一电压控制步骤中设定为所述第一电位差的期间长。

在本发明中，与上述发明同样，通过将第二电位差的期间设定成比第一电位差的期间长，可以使间隙间隔稳定在稳定位置。

在本发明的特性测量方法中，优选在所述第一电压控制步骤中，对所述第一电极施加第一电压，在所述第二电压控制步骤中，对所述第一电极施加第二电压，所述第一电压是第一直流电压，所述第二电压是第二直流电压。

在本发明中，与上述发明同样，通过将对第一电极以及第二电极施加的电压设为直流电压，不会象使用交流电压那样发生基板振荡，可以稳定地保持间隙间隔。

在本发明的特性测量方法中，在所述第二测量步骤之后，通过所电压控制部将所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差设定为比所述第二电位差大的第三电位差，并从透过所述测量物或者被所述测量物反射而入射到所述标准具的光中提取出第三光的第三电压控制步骤；及通过所述受光部接收所述第三光，并且通过所述测量部对所接收到的所述第三光的受光量进行测量的第三测量步骤，所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位差之差的绝对值小。

在本发明中，可以抑制间隙间隔变窄时的静电引力的急剧增大，可以更好地抑制超调，从而可以实施更迅速的分光测量。

在本发明的特性测量方法中，优选在所述第二测量步骤后，具备：在所述第二测量步骤之后，通过所电压控制部将所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差设定为比所述第二电位差大的第三电位差，并从透过所述测量物或者被所述测量物反射而入射到所述标准具的光中提取出第三光的第三电压控制步骤；及通过所述受光部接收所述第三光，并且通过所述测量部对所接收到的所述第三光的受光量进行测量的第三测量步骤，在所述第一电压控制步骤中，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为第一间隔，在所述第二电压控制步骤中，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为比所述第一间隔小的第二间隔，在所述第三电压控制步骤中，所述第一反射膜与所述第二反射膜之间被设定为比所述第二间隔小的第三间隔，所述第一间隔与所述第二间隔之差的绝对值与所述第二间隔与所述第三间隔之差的绝对值相等。

在本发明中，与上述发明同样，按照第一间隔与第二间隔之差的绝对值与第二间隔与第三间隔之差的绝对值相等的方式通切换到高电压，随之减小电压上升值，可以将可测量的波段用等波长间隔划分，在整个可测量波段可以实施详细的特性的测量。

在本发明的特性测量方法中，优选所述光滤波器具备测量所述第一电极与所述第二电极之间的静电容量的静电容量测量部，所述第一测量步骤测量所述第一光的受光量，并且通过所述静电容量测量部测量所述第一测量步骤中的所述第一电极与第二电极之间的静电容量，所述第二测量步骤测量所述第二光的受光量，并且通过所述静电容量测量部测量所述第一测量步骤中的所述第一电极与第二电极之间的静电容量。

在本发明中，通过静电容量测量部测量静电容量，可以正确地检测出第一电极与第二电极之间的间隔。而且，如果预先测量第一反射膜以及第二反射膜的膜厚，可以根据第一电极与第二电极的间隔、第一反射膜以及第二反射膜的膜厚，正确地计算出作为第一反射膜以及第二反射膜的间隔的间隙间隔，并且可以正确地求出透射光滤波器的光的波长。

因此，在第一测量步骤以及第二测量步骤中，根据这样的静电容量计算出间隙间隔的同时，通过测量被受光部接收的受光量，可以同时取得接收到的光的波长和其光量，可以实施更详细的特性的测量。并且，在第三测量步骤中，同样地可以在第三光的受光量的测量同时，通过测量第一电极与第二电极间的静电容量，同时对第三光进行接收到的光的波长和其光量的测量。

本发明的分析设备特征在于具备上述的光滤波器。

在本发明中，可以通过光滤波器迅速地提取出所希望波长的光。因此，在分析设备中，可以基于迅速地提取出的光，实施迅速的分析。

本发明的光设备的特征在于，具备上述光滤波器。

这里，作为光设备例如在针对各个波长的光具有对应光强度的数据的情况下，是从所希望的波长中取出数据的装置，其用于例如将多个波长的光混合后通过光纤等介质发送的系统等。

在本发明中，如上述那样，由于可以通过光滤波器迅速地提取出所希望的波长的光，从而可以迅速地实施光设备中的数据的取得处理。

附图说明

图1是表示作为本实施方式的分析设备的色度测量装置的概略构成的框图。

图2是表示构成本实施方式的光滤波器的标准具的概略构成的剖视图。

图3是表示标准具的透射特性的例子的图。

图4是表示电压表格数据825的例子的图。

图5实施表示本实施方式的光滤波器的分光测量动作的流程图。

图6是表示本实施方式中的施加在静电致动器上的电压以及电压施加时间的图。

图中符号说明：

1-作为分析设备的色度测量装置；3-构成光滤波器的分光测量装置；5-标准具(etalon)；6-受光部；51-作为第一基板的固定基板；52-作为第二基板的可动基板；53-作为第一反射膜的固定反射膜；54-作为第二反射膜的可动反射膜；81-电压控制部、静电容量测量部、作为测量部的CPU；551-第一电极；552-第二电极；821-使CPU作为电压控制部发挥功能的电压控制程序；822-使CPU作为静电容量测量部发挥功能的间隙测量程序；824-使CPU作为测量部发挥功能的测量程序。

具体实施方式

下面，根据附图对作为本发明涉及的一实施方式的分析设备的色度测量装置进行说明。

(1.色度测量装置的构成)

图1是表示本发明涉及的一实施方式的分析设备的色度测量装置的概略构成的框图。

在图1中，色度测量装置1具备光源装置2、构成本发明的光滤波器的分光测量装置3、色度测量控制装置4。该色度测量装置1从光源装置2向测量物A射出例如白光，使被测量物A反射的光的检查对象光入射到分光测量装置3。于是，由分光测量装置3对检查对象光进行分光，并实施对分光成各个波长后的光的光量分别进行测量的分光特性测量。换言之，使被测量物A反射的光、即检查对象光入射到标准具5，来实施对从标准具5透过的透射光的光量进行测量的分光特性测量。于是，色度测量控制装置4根据得到的分光特性对测量物A的色度测量处理进行分析，即，对色光及其比率进行分析。

(2.光源装置的构成)

光源装置2具备光源21、多个透镜22(在图中仅记载了1个)。光源装置2对测量物A射出白光。而且，在多个透镜22中包含有准直透镜，光源装置2将从光源21射出的白光通过准直透镜而变为平行光后，从未图示的透射透镜向测量物A射出。

(3.分光测量装置的构成)

分光测量装置3是对被测量物A反射的测量对象光进行分光，并通过测量被分光后的光的光量，来获得分光特性的装置。该分光测量装置3如图1所示，具备标准具5、受光部6、驱动电路7以及控制电路8。而且，分光测量装置3在与标准具5对置的位置上具有将被测量物A反射的反射光(测量对象光)导入到内部的未图示的入射光学透镜。

受光部6由多个光电变换元件构成，并生成与受光量对应的电信号。而且，受光部6与控制电路部8连接，将生成的电信号作为受光信号输出到控制电路部8。

(3-1.标准具的构成)

图2是表示构成分光测量装置3的标准具5的概略构成的剖视图。

标准具5例如是在俯视的情况下为正方形形状的板状光学部件，其一边例如形成为10mm。该标准具5如图2所示，具备构成本发明的第二基板的可动基板52和构成第一基板的固定基板51。这2枚基板51、52分别例如由钠玻璃、结晶性玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等各种玻璃或水晶等形成。其中，作为各个基板51、52的构成材料，优选例如含有钠(Na)或钾(K)等碱金属的玻璃，通过由这样的玻璃形成各个基板51、52，可以提高下述的反射膜53、54的紧密粘贴性、各个电极的紧密粘贴性和基板与基板间的接合强度。而且，这2枚基板51、52通过例如常温活性化接合等被一体地构成。

另外，在固定基板51和可动基板52之间，设置有构成本发明的第一反射膜的固定反射膜53以及构成第二反射膜的可动反射膜54。这里，固定反射膜53被固定在固定基板51的与可动基板52对置的面上，可动反射膜54被固定在可动基板52的与固定基板51对置的面上。而且，这些固定反射膜53及可动反射膜54隔着第一间隙G1对置地配置。

并且，在固定基板51与可动基板52之间，设置有用于调整固定反射膜53及可动反射膜54间的第一间隙G1的大小的静电致动器55。该静电致动器55具备第一电极551以及第二电极552。

(3-1-1.固定基板的构成)

固定基板51通过蚀刻厚度例如为500μm的玻璃基材加工而成。具体而言，如图2所示，在固定基板51上通过蚀刻形成了电极形成槽511以及反射膜固定部512。

例如从厚度方向观察标准具5(下面称标准具俯视图)的俯视图中，电极形成槽511形成为圆环状。反射膜固定部512在所述俯视图中形成在电极形成槽511的中心部，并从电极形成槽511的槽底面(电极固定面511A)向可动基板52侧突出地形成。

而且，在电极形成槽511的电极固定面511A上形成有构成静电致动器55的第一电极551。并且，在固定基板51上，形成有与电极固定面511A连接的未图示的第一电极引出槽，而且形成有从第一电极551的外周缘的一部分向外侧延伸出的未图示的第一电极引出部。该第一电极引出部与驱动电路7连接。

反射膜固定部512的宽度比电极形成槽511的宽度窄。但是，反射膜固定部512的宽度也可以比电极形成槽511的宽度宽，适当设定即可。其中，在本实施方式中，如图2所示，示出了反射膜固定部512的与可动基板52对置的反射膜固定面512A形成为比电极固定面511A更接近可动基板52，但不限于此，电极固定面511A以及反射膜固定面512A的高度位置，可以根据固定在反射膜固定面512A的固定反射膜53和形成在可动基板52的可动反射膜54之间的第一间隙G1的大小、第一电极551与形成在可动基板52的下述第二电极552之间的大小及固定反射膜53和可动反射膜54的厚度大小进行适当的设定，但不限于上述那样的构成。例如，作为反射膜53、54还可以是使用电介质多层膜反射膜，当其厚度增大时，电极固定面511A与反射膜固定面512A形成在同一平面上的构成；或者在电极固定面511A的中心部形成有圆柱凹槽上的反射膜固定槽，在该反射膜固定槽的底面形成有反射膜固定面512A的构成等。

并且，在反射膜固定面512A上固定有形成为例如直径约3mm的圆形的固定反射膜53。该固定反射膜53是由AgC单层形成的反射膜，是通过溅射法形成在反射膜固定面512A上的。

其中，在本实施方式中，示出了使用AgC单层反射膜作为固定反射膜53的例子，该AgC单层反射膜可以覆盖可见光全波段作为用标准具5能够分光的波段。但不限于此，例如还可以使用其他构成，例如TiO₂-SiO₂系电介质多层膜反射膜，其使用标准具5能够分光的波段窄，但是与AgC单层反射膜比较，被分光的光的透射率大、透射率的半值宽度也窄，分辨率良好。但是，在该情况下，如上述那样，需要根据固定反射膜53和可动反射膜54、分光的光的波长选择波段等，对固定基板51的反射膜固定面512A和电极固定面511A的高度位置进行适当的设定。

并且，固定基板51在与可动基板52对置的上面的相反侧的下面，在与固定反射膜53对应的位置上形成有省略图示的反射防止膜(AR)。该反射防止膜通过低折射率膜以及高折射率膜交替地重叠而形成，使固定基板51的表面的可见光的反射率降低，并且使其透射率增大。

(3-1-2.可动基板的构成)。

可动基板52通过蚀刻厚度例如为200μm的玻璃基材加工而成。

具体而言，可动基板52在标准具俯视图上具备将基板中心点作为中心的圆形的变位部521、和形成为与变位部521同轴的圆环状且与变位部521的外周部连接的连接保持部522。

变位部521形成为比连接保持部522厚度厚，例如，在本实施方式中，形成为与可动基板52的厚度相同的尺寸的200μm。而且，变位部521具备与反射膜固定部512的反射膜固定面512A平行的可动面521A，在该可动面521A上固定有可动反射膜54。这里，由该可动反射膜54、和上述的固定反射膜53构成了本发明的一对反射膜。而且，在本实施方式中，可动反射膜54与固定反射膜53之间的第一间隙G1在初始状态下被设定成例如450nm。

这里，所述可动反射膜54使用了与上述固定反射膜53相同构成的反射膜，在本实施方式中使用了AgC单层反射膜。并且，AgC单层反射膜的膜厚为例如0.03μm。

并且，在可动面521A上形成有隔着第二间隙G2与第一电极551对置的环状第二电极552。

而且，未图示的第二电极引出部从第二电极552的外周缘的一部分向外周方向形成且与驱动电路7连接。并且，通过从驱动电路7输出的电压，在第一电极551以及第二电极552之间所用静电引力，并通过变位部521向反射膜固定部512侧移动，来调整第一间隙G1的间隔。

并且，变位部521在与可动面521A相反侧的上面，在与可动反射膜54对应的位置上形成有省略图示的反射防止膜(AR)。该反射防止膜具有与形成在固定基板51上的反射防止膜相同的构成，其通过低折射率膜以及高折射率膜交替重叠而形成。

连接保持部522是包围变位部521的周围的膜片，例如形成厚度尺寸为50μm。而且，连接保持部522具有弹性，当由于静电致动器55的静电引力，使变位部521向固定基板51侧移动时，对变位部521作用了使其向初始位置返回的作用力。即，连接保持部522构成了本发明的施力机构。

在上述的标准具5中，具有如图3所示的透射特性。图3是表示标准具5的透射特性的图。在图3中，“Gap”表示第一间隙的间隔。在标准具5中，由一对反射膜53、54间的第一间隙G1的间隔(下面称第一间隙间隔)决定透射波长。即，透过标准具5的光是其半波长的整数倍与第一间隙间隔一致的光，半波长的整数倍与第一间隙间隔不一致的光被反射膜53、54反射。因此，如图3所示，通过静电致动器55使第一间隙间隔变化为g0、g1、g2、g3，透过标准具5的光的波长，即透射率大的波长变化为λ0、λ1、λ2、λ3。

(3-2.驱动电路的构成)

驱动电路7与标准具5的第一电极引出部、第二电极引出部以及控制电路8连接。该驱动电路7根据从控制电路8输入的驱动控制信号，并通过第一电极引出部以及第二电极引出部在第一电极551以及第二电极552之间施加驱动电压，使变位部521移动到规定的位移位置。

(3-3.控制电路部的构成)

控制电路部8对分光测量装置3的整体动作进行控制。该控制电路部8如图1所示，由例如CPU81、存储部82等构成。并且，CPU81根据存储在存储部82的各种程序和各种数据，来实施分光测量处理。存储部82被构成为具备例如存储器或硬盘等记录介质，并且各种程序、各种数据等能够被恰当读取地存储。

这里，在存储部82中作为程序存储有电压控制程序821、间隙测量程序822、光量识别程序823以及测量程序824。这里，由CPU81读取出电压控制程序821，从而执行本发明的电压控制部的处理。并且，通过由CPU81读取出间隙测量程序822，来执行本发明的静电容量测量部的处理。即，CPU81构成了本发明的电压控制部以及静电容量测量部。

并且，在存储部82中，存储有为了调整第一间隙G1的间隔而对静电致动器55施加的电压值、以及与施加该电压值的时间建立关联的电压表格数据825。

这里，图4是表示电压表格数据825的例子。

存储在存储部82中的电压表格数据825如图4所示是记录有多个将表示电压施加顺序的序号数据827、记录电压值的电压数据828、记录施加时间的时间数据829建立了关联的电压控制记录826的数据。

这里，由分光测量装置3将可以分光的范围进行N分割，当取得针对N+1个波长的光量时，在电压表格数据825中，N个电压控制记录826例如按照序号数据827由小到大的顺序被记录。

在序号数据827为“1”的电压控制记录826的电压数据828中，记录有分光测量装置3实施分光测量时，最初对静电致动器55施加的初始驱动电压。并且，在序号数据827为“2”以后的电压控制记录826的电压数据828中，记录有序号数据827越小电压值越小，序号数据827增大则值变大的电压值。

即，在序号数据827为“2”的电压控制记录826的电压数据828中，记录有比初始驱动电压大的电压值，并且，在序号数据827为“3”的电压控制记录826的电压数据828中，记录有比序号数据827为“2”的电压控制记录826的电压数据828的电压大的电压值。即，在序号数据827为“i”的电压控制记录826的电压数据828中，记录有比序号数据827为“i-1”的电压控制记录826的电压数据828大，而比序号数据827为“i+1”的电压控制记录826的电压数据828小的电压值。并且，在序号数据827为“N”的电压控制记录826的电压数据828中，记录有用于使第一间隙间隔为最小值的最大电压值。这里，“i”是2以上的整数。并且，“N”也是2以上的整数。

并且，设定各个电压数据828的电压变动量，以使得序号数据827为“i-1”的电压控制记录826的电压数据828的电压值与序号数据827为“i”的电压控制记录826的电压数据828的值之差随着序号数据827变大而变小。

其中，电压数据根据要设定的第1间隙间隔、可动基板的材质、与设置了可动反射膜的区域对应的可动基板的大小和厚度等进行适当的设定。

电压控制记录826的时间数据829是对静电致动器55持续施加上述那样的电压数据828的电压的时间。该施加时间是与电压数据828对应的电荷被保持在第一电极551以及第二电极552，并通过静电引力完成变位部521的变位为止的时间。记录在该时间数据829中的施加时间被记录为序号数据827越小，施加时间越短，随着序号数据827增加施加时间变长。

即，在对静电致动器55施加的电压小的情况下，对变位部521的作用力小，而在电压大的情况下，对变位部521作用的力变大。这里，作为对变位部521作用的力是静电致动器55的静电引力、以及静电引力的反力，并且，通过连接保持部522发生弹性形变而产生复原力，对静电致动器55施加的电压越大这些力也越大。

在使变位部521变动时，存在变位部521超过所希望的变位位置而发生超调的情况，当发生了这样的超调时，直伴随超调而产生的振荡静止为止需要花费时间。该情况静电引力和复原力越大越容易发生，且振荡的振幅也越大。因此，当静电致动器55被施加了高电压时，由于变位部521的变动到稳定为止需要很长的时间，所以需要将施加时间设定较长。由于上述理由，在电压控制记录826的时间数据829中，记录有随着序号数据827越大施加时间越长的时间。

另外，在存储部82中记录有虽省略了图示，但表示第一间隙间隔对于静电致动器55的各个电极551、552所保持的电荷量的间隙特性数据、以及表示透射光的波长对置第一间隙间隔的透射特性数据等。

其次，对存储在存储部82中的并且通过由CPU81读取出而被执行的各种程序进行说明。

电压控制程序821是用于使CPU81作为本发明的电压控制部发挥功能的程序，其对驱动电路7输出驱动控制信号，并通过对静电致动器55的第一电极551以及第二电极552之间施加阶跃电压(直流电压)来进行驱动控制。

具体而言，从存储在存储部82中的电压表格数据825中，按照序号数据827从小到大的顺序读取出电压控制记录826，从而实施记录在时间数据829中的施加时间的存储在电压控制记录826的电压数据828的电压值的施加控制。

间隙测量程序822是用于使CPU81作为本发明的静电容量测量部发挥功能的程序，通过检测第一电极551以及第二电极552的静电容量来测量第一间隙间隔。具体而言，间隙测量程序822通过读取出存储在存储部82中的间隙特性数据，来获取与保持在静电致动器55的各个电极551、552的电荷量对应的第一间隙间隔。

光量识别程序823获取从受光部6输入的电信号(光量检测信号)后，并对使用受光部6测量的透过标准具5的光的光量进行识别。

测量程序824是用于使CPU81作为本发明的测量部发挥功能的程序，其进行使通过间隙测量程序822的第一间隙间隔的测量、与通过光量识别程序823的与透射光的受光量对应的光量检测信号的识别同时实施的控制(分光测量处理)。

这里，测量程序824在通过电压控制程序821向静电致动器55施加电压后，在经过了存储在时间数据829中的施加时间的时刻，即，在由电压控制程序821施加基于下一个电压控制记录826的电压之前，实施分光测量处理。

而且，测量程序824通过从存储部82读取出透射特性数据，对第一间隙间隔进行透过标准具5的透射光的波长的识别。并且，将该透射光的波长与通过光量识别程序823识别出的透射光的光量建立关联的分光测量结果输入到色度测量控制装置4。其中，还可以是将分光测量结果存储到存储部82，在与测量波段对应的分光测量处理结束后，将分光测量结果汇总向色度测量控制装置4输出的构成等。

(4.色度测量控制装置的构成)

色度测量控制装置4与分光测量装置3以及光源装置2连接，并实施基于光源装置2的控制、和通过分光测量装置3取得的分光特性的色度测量处理。作为该色度测量控制装置4可以使用例如通用个人计算机或便携式信息终端、其他色度测量专用计算机等。

并且，色度测量控制装置4如图1所示构成为具备光源控制部41、分光特性取得部42、以及色度测量处理部43等。

光源控制部41与光源装置2连接。并且，光源控制部41例如基于使用者的设定输入向光源装置2输入规定的控制信号，从而从光源装置2射出规定的亮度的白光。

分光特性取得部42与分光测量装置3连接，获取从分光测量装置3输入的分光特性。

色度测量处理部43基于分光特性，实施对测量物A的色度进行测量的色度测量处理。例如，色度测量处理部43将从分光测量装置3取得的分光特性图表化，并实施向未图示的打印机或显示器等输出装置的输出等处理。

(5.特性测量方法)

下面，基于附图对构成上述那样的色度测量装置1的分光测量装置3的动作中的特性测量方法进行说明。

图5是表示分光测量装置3的分光测量动作的流程图。

在上述那样的色度测量装置1中，为了测量入射光(检查对象光)的分光特性，首先，色度测量控制装置4先通过光源控制部41对光源装置2进行控制，例如对测量物A照射白光(光照射步骤)。

然后，分光测量装置3的控制电路部8的CPU81使电压控制程序821、间隙测量程序822、光量识别程序823以及测量程序824启动。而且，CPU81将测量次数变量n初始化(设定为n＝0)作为初始状态(步骤S1)。其中，测量次数变量n是0以上的整数值。

接着，测量程序824在初始状态下，即，在未对静电致动器55施加电压的状态下，测量透过标准具5的光的光量(步骤S2)。其中，该初始状态下的第一间隙间隔例如可以在分光测量装置的制造时预先测量，并存储在存储部82中。于是，这里将得到的初始状态下的透射光的光量、以及第一间隙间隔向色度测量控制装置4输出。

然后，电压控制程序821读取出存储在存储部82中的电压表格数据825(步骤S3)。并且，电压控制程序821对测量次数变量“n”进行加“1”计算(步骤S4)。

接着，电压控制程序821从电压表格数据825中读取序号数据827为测量次数变量n的电压控制记录826，来取得电压数据828以及时间数据829(步骤S5)。并且，电压控制程序821向驱动电路7输出驱动控制信号，并实施对静电致动器55施加记录在时间数据829的施加时间的记录在电压数据828的电压的施加处理(步骤S6)。

另外，测量程序824在经过了施加时间的时刻，实施分光测量处理(步骤S7)。即，测量程序824在通过间隙测量程序822测量第一间隙间隔的同时，通过光量识别程序823测量透射光的光量。而且，测量程序824从存储部82中读出透射特性数据，对与所测量的第一间隙间隔对应的透射光的波长进行识别。并且，测量程序824进行将测量的透射光的光量与识别出的透射光的波长建立了关联的分光测量结果向色度测量控制装置4输出的控制。

然后，CPU81对测量次数变量n是否达到最大值N进行判断(步骤S8)，当判断为测量次数变量n为N时，结束一系列的分光测量动作。另一方面，在步骤S8中，当测量次数变量n小于N时，返回到步骤S4，实施对测量次数变量n加“1”的处理，并反复进行步骤S5至S8的处理。

通过上面的处理，实施了本发明的第一电压控制步骤、第一测量步骤、第二电压控制步骤、第二测量步骤、第三电压控制步骤、第三测量步骤。即，当测量次数变量为n时，在第一电极551以及第二电极552之间施加的电压是本发明的第一电压，其电位差为本发明的第一电位差，此时的间隙间隔为本发明的第一间隔，此时透过标准具5的光为本发明的第一光。并且，对其后的测量次数变量n进行加“1”计算，测量次数变量为“n+1”时的在第一电极551以及第二电极552间施加的电压为本发明的第二电压，其电位差为本发明的第二电位差，此时的间隙间隔为本发明的第二间隔，此时透过标准具5的光为本发明的第二光。进一步，对测量次数变量进行加“1”计算，测量次数变量为n+2时的在第一电极551以及第二电极552间施加的电压为本发明的第三电压，其电位差为本发明的第三电位差，此时的间隙间隔为本发明的第三间隔，此时透过标准具5的光为本发明的第三光。

图6是表示施加在本实施方式的静电致动器55的电压以及电压施加时间的图。

通过上述那样的分光测量动作，施加在标准具5的静电致动器55的电压是图6所示的阶跃电压。这时，如上述那样，被设定为随着电压的施加，第一间隙间隔变窄，电压切换时的电压变动量ΔV变小(ΔV₁＞ΔV₂＞ΔV₃)。在本实施方式中，设定V₁＝15V、V₂＝25V、V₃＝30V、V₄＝33V，并设定ΔV₁＝10V、ΔV₂＝5V、ΔV₃＝3V。通过设定ΔV₁＞ΔV₂＞ΔV₃来控制变位部521的超调。

并且，如图6所示，设定为随着施加高电压第1间隙间隔变窄，施加时间T变长(T₁＜T₂＜T₃＜T₄)。在本实施方式中，设定T₁＝100μsec、T₂＝150μsec、T₃＝200μsec、T₄＝250μsec。通过设定T₁＜T₂＜T₃＜T₄，不会进一步急剧增大静电引力，可以进一步控制变位部521的超调的发生，从而可以进行更迅速的测量。而且，当施加电压变大时，作用于变位部521的静电引力以及复原引力也变大，如上述那样，设定为随着施加电压变大，施加时间T变长。因此，即使在由于这些力发生了超调的情况下，也可以在变位部521的变动稳定的时刻进行测量，而不会由于变位部521的振荡，使得分光测量处理的精度的恶化。另一方面，在对静电致动器55施加的电压小的状态下，静电引力和复原力也变小，因此变位部521的变动也变少。在本实施方式中，在施加电压小的情况下，可以将施加时间设置较短，从而实施更迅速的测量。其中，图6中的T0表示初始状态的期间。并且，在图6中，作为一例，示出了进行4次分光测量的情况，即，在T₁(V₁)时进行第1次的测量，在T₂(V₂)时进行第2次的测量，在T₃(V₃)时进行第3次的测量，在T₄(V₄)时进行第4次(最后)的测量。为了抑制超调，使V₁＜V₂＜V₃＜V₄。在最后的测量结束后，对测量物A的其他波段的色度进行分光测量的情况下，再次将标准具5返回初始状态，并进行本实施方式的分光测量。

(实施方式的作用效果)

如上述那样，在上述实施方式的色度测量装置1的分光测量装置3中，CPU81通过电压控制程序821在使分光测量时使变位部521变动，并对多个波长的被分光的光的光量进行测量时，实施将对静电致动器55施加的电压从低电压切换到高电压的处理。

因此，可以使在切换对静电致动器55施加的电压时所产生的变位部521的变动迅速地稳定化。即，通过从低电压向高电压的电压切换，可以不增大作为静电引力的反力的复原力，从而使变位部的变动速度缓和。因此，可以抑制变位部521由于超调而产生振荡的不良状况。因此，可以缩短从电压施加时刻到测量时刻为止的时间，从而可以实施迅速的分光测量处理。并且，由于可以抑制变位部521的振荡，所以还可以抑制在测量时由于变位部521振荡而导致的测量精度的恶化等，从而可以提高分光测量装置3的测量精度。

另外，CPU81通过电压控制程序821，基于电压表格数据825的数据，从第一间隙间隔为最大的初始状态到第一间隙间隔为最小的最大电压施加状态为止，对电压的施加进行多次切换，即，按照施加电压从小到大的顺序对静电致动器55施加电压。

因此，可以对能够在标准具5中分光的波段进行多个波长的分光特性的测量。

并且，通过使电压微小地变动，可以不使静电引力急剧增大，可以良好地抑制超调。从而，可以更迅速地实施分光测量处理。

并且，在上述电压表格数据825中，电压数据828被设定成随着电压值上述，电压变动量变小，CPU81通过电压控制程序821，控制静电致动器55的施加电压，以使随着从低电压向高电压切换，电压变动幅度变小。

因此，在第一间隙间隔变小的情况下，当对施加在静电致动器55的电压进行切换时，由于电压的变动量变小，所以不会发生静电引力急剧变大的情况。因此，可以降低由于急剧的静电引力的增大而产生的超调、和伴随超调而产生的变位部521的振荡，从而可以实施迅速的分光测量处理。

并且，在上述电压表格数据825中，时间数据829被设定成随着电压值上升，施加时间变长，CPU81通过电压控制程序821，控制对静电致动器55的电压施加为随着从低电压向高电压的切换，对静电致动器55施加电压的持续施加时间变长。

因此，当对静电致动器55施加了高电压时，静电引力以及克服静电引力的复原力变大，即使在由于这两个力的平衡使变位部521振荡的情况下，由于设定了变位部521的变动稳定所需要的施加时间，所以在测量时变位部521也不会振荡。即，CPU81通过测量程序824，可以在第一间隙间隔的变动消失的时刻，实施分光测量处理，从而可以得到精度高的分光测量结果。

另一方面，在施加在静电致动器55的电压小的情况下，由于静电引力和复原力也变小，所以变位部521几乎不振荡，用很短的时间就可以静止在规定位置。在本实施方式的分光测量装置3中，由于施加在静电致动器55的电压越小施加时间也越短，所以在施加低电压时，可以更迅速地实施基于测量程序824的分光测量处理。

而且，CPU81通过测量程序824，测量被标准具5分光并透过的光的光量的同时，实施第一间隙间隔的测量。并且，若测量出第一间隙间隔，则可以求出透射光的波长，因此可以同时获得透射光的波长以及光量。

这里，可以是预先测量相对于施加在静电致动器55的电压的第一间隙间隔并作为数据保存的构成。在该情况下，由于电极厚度尺寸等原因，在各个标准具5中，由于施加了规定电压时的第一间隙间隔不同，在各一个分光测量装置中，必须测量针对施加电压的第一间隙间隔，而使制造步骤复杂化。并且，还存在由于测量环境而使施加规定电压时的第一间隙间隔变动的情况，而使得测量精度恶化。与此相反，如上述那样，使用根据保持在静电致动器55的各个电极551、552中的电荷保持容量求出第一间隙间隔的方法，可以求出正确的值。因此，也可以正确地求出对于第一间隙间隔的透射光的波长。由于，可以正确地测量通过标准具5分光并透过的光的波长以及其光量，从而可以实施高精度的分光测量处理。

另外，在本发明的色度测量装置1中，根据通过分光测量装置3得到的分光测量结果，由测量程序824实施色度测量处理。如上述那样，由于可以从分光测量装置3迅速地输出正确的分光测量结果，所以在色度测量装置1中的色度测量处理中，也可以进行迅速的处理，实施正确的色度测量处理。

(变形例)

其中，本发明不是对上述实施方式的任何限定，能够达成本发明目的的范围内的变形、改良等都被包括在本发明中。

例如，在上述实施方式中，将从初始驱动电压到最大驱动电压为止分割成多个阶段，实施了多次测量。还可以实施例如从低电压的第一电压切换到高电压的第二电压的2阶段的处理。即使在该情况下，由于将施加在静电致动器55的电压从低电压到高电压地切换了施加电压，所以与从高电压切换到低电压的情况相比，可以抑制变位部521的变动，从而可以实施迅速的分光测量。

而且，在上述实施方式中，CPU81通过电压控制程序821，进行了随着将施加在静电致动器55的电压切换到高电压，使电压变动幅度变小的控制。但不限于此，例如，还可以实施将从先前的电压减去规定电压后的电压作为切换后的电压，从而将电压变动幅度逐渐减小等处理。

并且，对静电致动器55的电压切换时，可以进行使电压变动幅度为一定的控制。即使在该情况下，通过进行将施加在静电致动器55的电压从低电压切换到高电压的控制，与从高低压切换到低电压的情况比较，可以抑制变位部521的超调，从而实现分光测量动作的迅速化。

并且，CPU81随着通过电压控制程序821将施加在静电致动器55的电压切换到高电压，实施将施加时间延长的控制，但是不限于此。例如，也可以当将施加高电压时变位部521的变动稳定为止的施加时间作为固定时间，在切换到任何电压的情况下都只施加该固定时间的电压来进行控制。该情况下，与上述实施方式相比，测量涉及的时间变长，但是由于进行了通过电压控制程序821将施加在静电致动器55的电压从低电压切换到高电压的控制，所以固定时间本身的长度比从高电压切换到低电压的控制的情况短。即，与从高电压切换到低电压的情况比较，可以实施迅速的分光测量处理。

而且，CPU81被构成为通过测量程序824，使光量的测量和第一间隙间隔的测量同时实施。但是不限于此，例如上述那样，在预先测量针对施加在静电致动器55的电压的第一间隙间隔，并作为数据保存的情况下，不需要基于例如保持在静电致动器的电荷量来测量第一间隙间隔，可以基于数据取得透射光的波长。在这样的情况下，如上述那样，虽然在制造步骤中，需要对每个分光测量装置3分别测量固有数据，而且需要将测量环境保持为恒定。但是可以使处理简略化，从而可以实施减轻了CPU81的处理负载的测量。

另外，CPU81被构成为通过间隙测量程序822，测量静电致动器55的第一电极551以及第二电极552的电荷保持容量。还可以构成为例如将用于测量第一间隙间隔的测量用静电驱动电极设置在反射膜53、54的外周缘等，将压电元件设置在变位部521以及反射膜固定部512之间，可以对伴随压电元件的位移而输出的电流值进行检测，另外，可以通过任何方法对第一间隙间隔进行测量。

并且，在上述实施方式中，示出了变位部521仅形成在一对基板的一方的可动基板上的例。还可以是例如固定基板51的反射膜固定部512也是能够位移的构成。

在上述实施方式中，构成为通过受光部6接收透过标准具5的光。但不限于此，还可以构成为例如通过受光部接收被标准具5反射的光。

并且，色度测量装置1示出了具备照射测量物A的光源装置2的例子。还可以是例如在将自发光的显示器等显示装置作为测量物A的情况下等，不设置光源装置2的构成。

并且，示出了从光源装置2射出的光被测量物A反射后，通过分光测量装置3测量该反射光的构成。还可以是例如，利用测量物A使透过标准具5的光反射，并通过受光部6接收的构成。

并且，在上述实施方式中，示出了电压控制程序821、间隙测量程序822、光量识别程序823以及测量程序824是存储在存储部82中的程序，并且构成为通过被CPU81读取而执行的软件的例子，但不限于此，还可以是例如由iC等集成电路等以硬件构成。即，本发明的电压控制部、静电容量测量部以及测量部可以被构成为电路等硬件。

另外，在上述实施方式中，作为本发明的分析设备，例示了测量检查对象光的色度的色度测量装置1，但是不限于此。即，作为分析设备，可以适用通过检测气体特有的吸收波长而实施气体检测的气体传感器等。

并且，例示了将光滤波器作为分光测量装置3，搭载在作为分析设备的色度测量装置1的构成，还可以是例如光滤波器搭载在光设备的构成。

该情况下，光设备具备本发明的光滤波器、和从光中提取出数据的光译码装置。在这样的光设备中，光滤波器从通过光纤等光传输介质传送的光中，将所希望的波长的光按波长由长到短的顺序提取出。光译码装置对由光滤波器提取出的所希望的波长实施译码处理，提取出包含在该波长中的数据。在这样的光设备中，由于可以如上述那样通过光滤波器迅速地提取出各个波长的光，所以可以迅速开始从被传送的光中提取数据的处理，从而可以进行迅速的数据接收。

另外，本发明的实施时的具体的构造以及顺序，在达成本发明的目的的范围内可以适宜地变更为其他的构造等。